潔凈室是指

對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機(jī)械工業(yè)（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導(dǎo)體工業(yè)（如大規(guī)模集成電路生產(chǎn)）等對(duì)環(huán)境的要求，促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國(guó)內(nèi)曾統(tǒng)計(jì)過(guò)，在無(wú)潔凈級(jí)別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64為儲(chǔ)存器僅2%。目前在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。

不同的凈化等級(jí)，主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現(xiàn)。根據(jù)房間不同的工作條件，還必須考慮材料的化學(xué)性能是否穩(wěn)定。無(wú)塵車間施工要求：裝有過(guò)濾器的房間，不能有粉塵的作業(yè)。各個(gè)相接處的縫隙須密封。施工現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)保證良好的通風(fēng)和照明。1000-30萬(wàn)級(jí)凈化室和100級(jí)以上的凈化室不同，室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度成不平行流動(dòng)，伴有回流或渦流。

無(wú)塵車間動(dòng)線規(guī)劃要點(diǎn)：要檢討分析人車路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)的流程等，盡量縮短動(dòng)線，并避免交叉，以防止交叉污染。無(wú)塵車間等級(jí)定義的模式如下：Class?X?(at?Y?μm?)?其中X是無(wú)塵室的等級(jí)，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm?,?0.5μm等，可復(fù)選。先對(duì)房間的工作性質(zhì)以及其中的氣流條件進(jìn)行認(rèn)真的考慮，發(fā)塵量大的車間不宜采用地面送風(fēng)形式，潔凈度要求高的車間應(yīng)盡可能遠(yuǎn)離其它車間。

1000-30萬(wàn)級(jí)凈化室和100級(jí)以上的凈化室不同，室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度成不平行流動(dòng)，伴有回流或渦流。無(wú)塵車間分為幾個(gè)等級(jí)，分別為1級(jí)≥百級(jí)級(jí)≥千級(jí)級(jí)≥萬(wàn)級(jí)≥十萬(wàn)級(jí)≥百萬(wàn)，越排在前面的，級(jí)別越高，1級(jí)是級(jí)別排首位的。無(wú)塵車間目前在生物制藥、醫(yī)院衛(wèi)生、食品日化、電子光學(xué)、能源、精密器械等行業(yè)運(yùn)用已經(jīng)相當(dāng)?shù)钠毡榍页墒臁?/p>