機械選擇⑴真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。真空泵真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。⑶真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對亞有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。⑹正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。

機械安裝：在連接管路中，用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查真空泵的極限壓力。按電動機標牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器，真空泵通電試運轉(zhuǎn)時，須取下電機皮帶，確認真空泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用，以防真空泵反轉(zhuǎn)噴油。（轉(zhuǎn)向按防護罩指示方向），對于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。如真空泵口安裝電磁閥時，閥與真空泵應同時動作。當真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的很好的工作真空度。