浙江美兆-凈化車間——寧波無(wú)塵車間凈化建造

其實(shí)是錯(cuò)誤的解讀，應(yīng)該結(jié)合《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB50073-2001》解讀，關(guān)鍵要看后的“工作面”三個(gè)字，其實(shí)指的是在具體的工作面，操作臺(tái)，比如需要觀察檢驗(yàn)的結(jié)果的臺(tái)面，就好像在家讀書(shū)看書(shū)，書(shū)房的照度就是一般220LX的照度，然后書(shū)桌上有臺(tái)燈要達(dá)到450LX的閱讀照度，而不是整個(gè)房間都要450LX。 而且，目前的官i方檢測(cè)，就是工作臺(tái)面檢測(cè)，所以車間的照度，根據(jù)流水作業(yè)的線進(jìn)行安裝，這樣既能滿足官i方要求，也滿足實(shí)際需要，而不浪費(fèi)！寧波無(wú)塵車間凈化建造

浙江美兆-凈化車間——寧波無(wú)塵車間凈化建造

化車間，也可以稱為凈化車間或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒(méi)有凈化車間，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。那么凈化車間是由哪幾部分組呢？

風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)系統(tǒng)流程圖

系統(tǒng)采用的是全新風(fēng)空調(diào)箱 FFU 系統(tǒng)：

<1>全新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)

<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風(fēng)機(jī)和過(guò)濾器

千級(jí)區(qū)過(guò)濾器采用HEPA,過(guò)濾效率99.997%,百級(jí)區(qū)過(guò)濾器采用ULPA,過(guò)濾效率99.9995%。 寧波無(wú)塵車間凈化建造

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控制系統(tǒng)(DDC)溫度:干盤管系統(tǒng)控制

濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過(guò)感測(cè)的信號(hào),控制三通閥開(kāi)度來(lái)調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進(jìn)水量。

正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測(cè)的信號(hào),自動(dòng)調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。寧波無(wú)塵車間凈化建造

因此在凈化車間中用防塵材料及產(chǎn)品都顯得非常重要。凈化車間屬于人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境(凈化車間)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。 寧波無(wú)塵車間凈化建造