服務(wù)于IC產(chǎn)業(yè)的MEMS探卡

片級(jí)芯片測(cè)試在IC制造工藝中已經(jīng)成為不可或缺的一部分,發(fā)揮著重要的作用,而測(cè)試探卡在圓片級(jí)芯片測(cè)試過(guò)程中起著關(guān)鍵的信號(hào)通路的作用。分析指出由于芯片管腳密度的不斷增加以及在高頻電路中應(yīng)用的需要,傳統(tǒng)的組裝式探卡將不能適應(yīng)未來(lái)的測(cè)試要求;和傳統(tǒng)探卡的組裝方法相比,MEMS技術(shù)顯然更適應(yīng)當(dāng)今的IC技術(shù)。綜述了針對(duì)MEMS探卡不同的應(yīng)用前景所提出的多種技術(shù)方案,特別介紹了傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室為滿足IC圓片級(jí)測(cè)試的要求,針對(duì)管腳線排布型待測(cè)器件的新型過(guò)孔互連式懸臂梁芯片和針對(duì)管腳面排布型待測(cè)器件的Ni探針陣列結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和制造。為了對(duì)這種輕微的非線性進(jìn)行補(bǔ)償，大多數(shù)設(shè)計(jì)人員都會(huì)對(duì)測(cè)得的電阻值進(jìn)行數(shù)字化處理，并使用微控制器內(nèi)的查找表以便應(yīng)用校正因子。

深圳瑞泰威科技有限公司是國(guó)內(nèi)IC電子元器件的代理銷售企業(yè)，專業(yè)從事各類驅(qū)動(dòng)IC、存儲(chǔ)IC、傳感器IC、觸摸IC銷售，品類齊全，具備上百個(gè)型號(hào)。與國(guó)內(nèi)外的東芝、恩智浦、安森美、全宇昕、上海晶準(zhǔn)等均穩(wěn)定合作，保證產(chǎn)品的品質(zhì)和穩(wěn)定供貨。自公司成立以來(lái)，飛速發(fā)展，產(chǎn)品已涵蓋了工控類IC、光通信類IC、無(wú)線通信IC、消費(fèi)類IC等行業(yè)。這種寬溫度范圍(大約-250℃至750℃)內(nèi)的可復(fù)驗(yàn)性和穩(wěn)定性使RTD在應(yīng)用(包括在管道和大容器內(nèi)測(cè)量液體或氣體的溫度)中極為有用。

傳感器的作用（一）

1、CPU 主轉(zhuǎn)速傳感器

作用：用于向CPU反饋發(fā)動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)速信號(hào)。CPU接收到主轉(zhuǎn)速傳感器的反饋信號(hào)后，與程序內(nèi)部設(shè)定的轉(zhuǎn)速進(jìn)行比對(duì)，以判斷發(fā)動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速是否正常，發(fā)動(dòng)機(jī)負(fù)荷狀態(tài)是否正常，并結(jié)合其它反饋信號(hào)做出對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)及液壓系統(tǒng)的相關(guān)控制。異常情況下將控制液壓系統(tǒng)減馬力或控制發(fā)動(dòng)機(jī)停機(jī)。遠(yuǎn)端溫度二極管溫度傳感器采用外部連接成PN結(jié)的晶體管作為檢測(cè)元件，包括使用一個(gè)或多個(gè)外部晶體管測(cè)量溫度所需的全部信號(hào)調(diào)理電路。

2、共軌壓力傳感器

作用：用于向ECU反饋共軌腔內(nèi)高壓柴油壓力信號(hào)。由于共軌柴油控制系統(tǒng)采用的高壓噴射，噴射壓力較一般的直噴發(fā)動(dòng)機(jī)高10倍以上。所以，ECU將實(shí)時(shí)監(jiān)控共軌腔內(nèi)的柴油壓力，并根據(jù)反饋的壓力信號(hào)和其它反饋信號(hào)進(jìn)行判斷，對(duì)噴射器電磁閥、EGR電磁閥、SCV閥等控制單元發(fā)出指令信號(hào)。當(dāng)外力去掉后，它又會(huì)恢復(fù)到不帶電的狀態(tài)，這種現(xiàn)象稱為正壓電效應(yīng)。

3、流量傳感器

作用：汽車中的流量傳感器大多測(cè)發(fā)動(dòng)機(jī)空氣流量和燃料流量，它能將流量轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。伴隨著科技進(jìn)步和信息技術(shù)的發(fā)展，除了靈敏度之外，人們也對(duì)磁傳感器的尺寸、穩(wěn)定性、功耗、制備工藝的簡(jiǎn)單化等提出了越來(lái)越高的要求。其中空氣流量傳感器應(yīng)用更多，主要用于監(jiān)測(cè)e69da5e6ba90e799bee5baa6e79fa5e9819331333366303734發(fā)動(dòng)機(jī)的燃燒條件、起動(dòng)、點(diǎn)火等，并為計(jì)算供油量提供依據(jù)。

按原理分為體積型、質(zhì)量型流量計(jì)，按結(jié)構(gòu)分為熱膜式、熱線式、翼片式、卡門(mén)旋渦式流量計(jì)。翼片式流量計(jì)測(cè)量精度低且要溫度補(bǔ)償；熱線式和熱膜式測(cè)量精度高，無(wú)需溫度補(bǔ)償?？偟膩?lái)說(shuō)，熱膜式流量計(jì)因?yàn)檩^小的體積，更受工業(yè)化生產(chǎn)的青睞。

CCD傳感器優(yōu)點(diǎn)

高解析度：像點(diǎn)的大小為μm級(jí)，可感測(cè)及識(shí)別精細(xì)物體，進(jìn)步影像質(zhì)量。從1寸、1/2寸、2/3寸、1/4寸到推出的1/9寸，像素?cái)?shù)目從10多萬(wàn)增加到400～500萬(wàn)像素；

低雜訊高敏感度：CCD具有很低的讀出雜訊和暗電流雜訊，因此進(jìn)步了信噪比（SNR），同時(shí)又具高敏感度，很低光度的入射光也能偵測(cè)到，其訊號(hào)不會(huì)被掩蓋，使CCD的應(yīng)用較不受天候拘束；

動(dòng)態(tài)范圍廣：同時(shí)偵測(cè)及分辨強(qiáng)光和弱光，進(jìn)步系統(tǒng)環(huán)境的運(yùn)用范圍，不因亮度差異大而構(gòu)成信號(hào)反差現(xiàn)象。

良好的線性特性曲線：入射光源強(qiáng)度和輸出訊號(hào)大小成良好的正比關(guān)系，物體資訊不致?lián)p失，降低信號(hào)補(bǔ)償處置本錢(qián)；

高光子轉(zhuǎn)換效率：很微小的入射光映照都能被記載下來(lái)，若配合影像增強(qiáng)管及投光器，即使在暗夜遠(yuǎn)處的景物仍然還可以偵測(cè)得到；