真空泵的特點(diǎn)

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤(rùn)滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；(3)泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封和潤(rùn)滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染；(4)泵腔內(nèi)無(wú)壓縮，無(wú)排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；(5)壓縮比較低，對(duì)氫氣抽氣效果差；(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

真空泵的基礎(chǔ)單位

1、真空泵的極限壓強(qiáng)，真空泵的極限壓強(qiáng)的單位是PA，指的是真空泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的低壓強(qiáng)。

2、真空泵的抽氣速率，真空泵的抽氣速率單位是有L/s、m3/h、L/min、m3/min等，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩，并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過(guò)的氣體流量與在試驗(yàn)罩的位置測(cè)得的平衡壓強(qiáng)之比。簡(jiǎn)稱為泵的抽速。

3、真空泵的抽氣量，真空泵的抽氣量是指泵入口的氣體流量。真空泵的抽氣量單位是Pam3/s、PaL/s、mbarL/s等。

4、真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng) 真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng)是指真空泵無(wú)損壞起動(dòng)并有抽氣作用時(shí)的壓強(qiáng)，單位為Pa。

真空泵選型方法

選擇真空機(jī)組：

(1) 當(dāng)使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時(shí)，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足工藝要求。

(2) 有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓力低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。經(jīng)組合使用的真空泵，我們稱之為真空泵機(jī)組，它能使真空系統(tǒng)得到較好的真空度及排氣量。我們應(yīng)正確地選擇組合的真空泵，由于不同的真空泵對(duì)抽除的氣體要求有不同的要求，例如：在一般情況下羅茨－旋片機(jī)組不適用于含有較多可凝性氣體的系統(tǒng)。

真空泵選型

真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。

正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)ya有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。