愛德華分子泵維修廠家推薦廣東潽拓光電

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發(fā)布時(shí)間：2020-07-29 14:24

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旋片真空泵的清洗工藝

為了防止系統(tǒng)中任何容易大量放氣的物質(zhì)并去除高蒸氣壓的物質(zhì)，必須進(jìn)行徹底的處理。不同的真空元件和不同的材料都有自己特殊的清潔方法，常見的真空部件清潔方法如下。

旋片真空泵的清洗

為了清潔旋片真空泵而沒有明顯的故障，泵一般不拆卸，只有舊油和污垢從排油孔排出，新的真空泵油（用于清洗）從帶漏斗的進(jìn)氣口。手動(dòng)緩慢旋轉(zhuǎn)泵輪數(shù)次后，釋放油。5x10-3torr入口連接nw25法蘭出口連接可從3/4inbsp塞孔卸下的15mm外徑噴嘴出口處的最da允許壓力0。通過重復(fù)相同的方法一次或兩次，新油可以正式使用。沒有必要清潔新的旋片真空泵，但有必要檢查管道入口是否干凈，沒有異物，并擦去表面膩?zhàn)印?

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氣體輸送能力強(qiáng)

大多數(shù)渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，氦質(zhì)譜檢漏儀等場合均可得到應(yīng)用。泵不使用于抽出對金屬月腐蝕性的，對泵油起化學(xué)反應(yīng)的，含有顆粒塵埃的氣體，以體含氧過高的氣體4。有專門設(shè)計(jì)用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕，離子束加工，低壓化學(xué)氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。

分子泵清洗的方法如下：

1．關(guān)掉分子泵，進(jìn)行排氣。

2．從機(jī)器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的邊緣部分。

3．拆掉冷卻器、加熱器（如果有的話）等

4．拆掉潤滑的油包

5．將分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一個(gè)適合的容器中。

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