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發(fā)布時(shí)間:2021-10-25 07:17  






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    廣州潽拓光電科技有限公司專業(yè)維修德國普發(fā)分子泵,Pfeiffer TMH071P渦輪分子泵是德國普發(fā)經(jīng)典的分子泵之一,其轉(zhuǎn)速為90000rpm,大量應(yīng)用于分析儀器如氦質(zhì)譜檢漏儀,及小型分子泵組中






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       廣州潽拓光電科技有限公司主要從事半導(dǎo)體:(在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造工藝中,分子泵廣泛應(yīng)用于光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備、離子注入機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備),,太陽能電池板等真空鍍膜設(shè)備維修,銷售,設(shè)計(jì),開發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開發(fā),承接等,為廣大客戶提供Leybold、Pfeiffer、Alcatel、Agilent(Varian)、BOC Edwards、Shimadzu、ULVAC、Osaka等分子泵維修技術(shù)服務(wù)。









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       SplitFlow系列的渦輪分子泵主要用途:可以用一臺泵同時(shí)對質(zhì)譜系統(tǒng)的兩個或三個腔體進(jìn)行抽氣。 渦輪轉(zhuǎn)子都用單獨(dú)一塊鋁合金整體加工而成,重量小化, 分子泵可以在360度范圍內(nèi)以任意角度工作而無需任何調(diào)整。



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設(shè)備上,pfeiffer Splitflow 310-3P抽速可達(dá)到250L/s,轉(zhuǎn)速為60000rpm,德國普發(fā)pfeiffer Splitflow 310-3P

分子泵對應(yīng)的控制器為:pfeiffer TC400。





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