特種氣體系統(tǒng)：常規(guī)供氣系統(tǒng)

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊?。VMB采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空；VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸恢窔鈩?dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空。按照標(biāo)準(zhǔn)，預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達(dá)到百級(jí)的凈化間進(jìn)行，作業(yè)人員也按照百級(jí)凈化間的管理著裝。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類。              

特種氣體管道的施工

特種氣體管道的施工采用全自動(dòng)軌道焊接，同時(shí)制定和實(shí)施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序，對(duì)施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。后整個(gè)系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測(cè)、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測(cè)試。

其現(xiàn)場(chǎng)基本的施工程序?yàn)椋菏┕D紙會(huì)審﹣→施工組織編寫﹣→預(yù)制間的搭設(shè)﹣→施工機(jī)具的準(zhǔn)備﹣→施工人員的培訓(xùn)﹣→預(yù)制圖紙的編寫﹣→管道的預(yù)制﹣→管道的現(xiàn)場(chǎng)安裝﹣→系統(tǒng)檢測(cè)﹣→系統(tǒng)驗(yàn)收

特種氣體的分類

近年來我國微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對(duì)氣體的使用要求極高，所以我們特將這個(gè)領(lǐng)域所使用的特種氣體叫電子特氣?？墒遣荒苓M(jìn)行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導(dǎo)致加壓時(shí)刻太長(zhǎng)。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽能電池片、半導(dǎo)體發(fā)光二極管（LED）、液晶面板、光纖、IC、半導(dǎo)體分立器件、線路板等行業(yè)。主要包括：

1、硅族氣體：含硅基的硅i烷類。

2、摻雜氣體：含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體。

3、蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主。

4、反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主。

5、金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機(jī)烷類金屬。