超純水設(shè)備工藝技術(shù)與傳統(tǒng)的蒸餾法相比較，超純水設(shè)備用反滲透法為基礎(chǔ)再聯(lián)合了i新電去離子(EDI)技術(shù)的i新工藝具有明顯的優(yōu)越性和先進(jìn)性.節(jié)能。主要有多級蒸餾、高壓分級蒸餾和離心凈化蒸餾幾種工藝。所有蒸餾方法均在120°C高溫狀態(tài)下進(jìn)行，所以可以得到完全無菌的水。因此，運行當(dāng)中能源的消耗相當(dāng)大;同時因為溫度較高，所有設(shè)備組成部分必須耐受高溫沖擊，設(shè)備的造價及維護(hù)費用高昂。3、自潔型，又稱自潔式，自潔型則是自行清潔，是自潔式凈水器的反滲透系列，它的優(yōu)點的是無需經(jīng)濟(jì)型的手動操作，也無需自動型的電器元件，不但結(jié)構(gòu)簡單，還能達(dá)到整機(jī)自潔。反滲透技術(shù)結(jié)合臭氧消毒方法，整個系統(tǒng)工作于常溫、低壓狀態(tài)，設(shè)備投資省，運行維護(hù)費用低，可靠節(jié)能：膜處理法的運行成本僅為蒸餾方法的12-15%，非常經(jīng)濟(jì)，極具競爭力。

超純水處理設(shè)備的工藝流程大致分成以下幾種

1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復(fù)床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點

2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→混床（復(fù)床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點

3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進(jìn)行搭配的的方式，這是一種制取超純水的i新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置緊密過濾器→用水點 三種制備工業(yè)用超純水的工藝比較目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來。此外，儲存的容器也很講究，若是非惰性的物質(zhì)，離子和容器的塑形物質(zhì)會析出造成二次污染。