高濕度實(shí)際上減小了無塵車間、潔凈室

細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對(duì)濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道降至。 相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會(huì)使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺干燥，皮膚，呼吸道不適以及情感上的不快。 高濕度實(shí)際上減小了無塵車間、潔凈室表面的靜電荷積累，較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度超過50%時(shí)，靜電荷開始迅速消散，但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。 相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。 很多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對(duì)濕度的而加快。所有暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可以使反應(yīng)加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護(hù)型的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng);但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有保護(hù)能力的，因此，在高濕度的環(huán)境中，銅制表面更容易受到腐蝕。

潔凈室需要將一定范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將無塵室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，通常根據(jù)實(shí)驗(yàn)室空氣中的顆粒數(shù)量，對(duì)潔凈室進(jìn)行分類。

1、空氣凈化系統(tǒng)可分為三種類型：水平層流，垂直層流和湍流，應(yīng)根據(jù)設(shè)計(jì)布局和要求選擇所選氣流的形式。

2、潔凈室內(nèi)每個(gè)房間的清潔度和通風(fēng)時(shí)間清潔度取決于一定時(shí)間內(nèi)的通風(fēng)次數(shù)，因此仔細(xì)考慮凈化車間每個(gè)房間的工作要求可能會(huì)有所不同，以及生產(chǎn)過程 然后，要求確定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)。

3、結(jié)構(gòu)為了保證氣流幾乎不受干擾，有必要進(jìn)行車間的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，以及車間的布局，防止產(chǎn)生氣流渦流，必要時(shí)要小心謹(jǐn)慎防止一些不必要的事情發(fā)生。

4、設(shè)計(jì)方案確定設(shè)計(jì)時(shí)，首先要仔細(xì)考慮房間工作性質(zhì)和氣流狀況，了解整體布局和要求，車間用大量灰塵，避免地面空氣形成 和清潔度要求較高的房間應(yīng)盡可能遠(yuǎn)離其他車間。

凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、空氣過濾器三三級(jí)過濾。100000 級(jí)空氣凈化處理，可采用亞空氣過濾器代空氣過濾器。

空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合:初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端,空氣過濾的安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞、空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用;阻力、效率相近的空氣過濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。

確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和凈化車間空氣的潔凈度等級(jí)、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時(shí)，位置集中以及噪聲控制和振動(dòng)控制要求嚴(yán)格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。