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凈化車間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準。目前凈化車間應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。
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充分通風是為了稀釋和消除室內污染空氣。 根據(jù)不同的清潔要求,當凈化車間高度較高時,適當增加通風量。 其中,凈化車間的通風量是根據(jù)高或中效凈化系統(tǒng)來考慮的,其余的要根據(jù)凈化系統(tǒng)集中布置在機房或系統(tǒng)末端,可適當增加通風頻率10-20%。
在凈化車間中保持一定的正壓力是確保潔凈室不被污染或減少污染并保持設計潔凈度的必要條件之一。 即使是負壓潔凈室,它也必須具有不低于其潔凈度水平的相鄰房間或套間,以維持一定的正壓,并且可以保持負壓潔凈室的潔凈度。
凈化車間
目的: 潔凈無塵車間為加強凈化車間衛(wèi)生管理和控制,確保凈化車間衛(wèi)生清潔度,保證產品質量安全衛(wèi)生,定本流程。
1 空間環(huán)境衛(wèi)生控制規(guī)程:
1.1 職責:
1.1.1現(xiàn)場質檢員負責車間空氣凈化系統(tǒng)的開關;
1.1.2車間衛(wèi)生員負責空間消毒;
1.2.3現(xiàn)場生產主管負責監(jiān)督車間空間衛(wèi)生的實施工作;
1.2 實施:
1.2.1 每天生產前1-2小時,現(xiàn)場質檢員應負責開啟車間空氣凈化系統(tǒng),確認凈化設備正常工作,確認車間空氣壓力≥8pa;并作好相關記錄;
1.2.2生產結束后,質檢員應負責關閉空氣凈化系統(tǒng);并做好相關記錄;
1.2.3 每天生產前半小時,車間衛(wèi)生員應用95%的食用酒精對凈化車間及相關緩沖間進行消毒;
1.2.4 在每天就餐時間結束后,衛(wèi)生員應用95%的食用酒精對人員出入口及緩沖間進行消毒;
1.2.5 衛(wèi)生員在消毒過程中,應注意避免將酒精直接噴向產品上;
1.2.6 所有出入凈化車間的人員進出車間必須隨手關門,以保證現(xiàn)場空間的潔凈度和安全氣壓;