氦質(zhì)譜檢漏儀優(yōu)點(diǎn)

180度非均勻磁場(chǎng)的質(zhì)譜室設(shè)計(jì)，對(duì)焦準(zhǔn)確，靈敏度高。

檢漏口耐壓高，可檢漏率量程寬，大漏小漏全可檢。

離子源燈絲采用氧化釔銥金燈絲，壽命長(zhǎng)、靈敏度高。

檢漏狀態(tài)下獨(dú)特的三屏切換，信息更豐富，檢漏更方便。

具有快速清氦功能和快速響應(yīng)功能。檢漏狀態(tài)一鍵清零。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度為0.1769kg/m3，臨界溫度為5.25K，臨界壓力為2.26×105Pa，1atm壓力下的沸點(diǎn)為4.214K，熔點(diǎn)為0.9K，三相點(diǎn)溫度為2.186K，三相點(diǎn)壓力為51.1×10-2Pa，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的熱導(dǎo)率為510.79J/(m·h·K)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的定壓比熱為5233J/(kg·K)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的動(dòng)力粘度系數(shù)為1.86×10-5Pa·s，1L液氦氣化為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氦氣體積為700L。

氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)的氦質(zhì)譜檢漏儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。 此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。