Parylene是這些組裝方式的防護材料，5微米厚就能耐1000V以上直流擊穿電壓，因此在微機電系統(tǒng)中，Parylene是一的電介質(zhì)材料。同時，對傳感器的防酸、堿和及對水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境有的阻隔防護能力。  

Parylene活性分子的良好穿透能力在元件內(nèi)部，底部、周圍形成無氣隙的防護層。優(yōu)良的防潮、防化學品和耐溶劑性能優(yōu)良的介電絕緣性能、微米級的精密制作、極薄的膜層仍具極優(yōu)的電性能、物理機械性能和防腐蝕功能。

眾所周知，在某些材料的表面上，只要鍍上一層薄膜，就能使材料具有許多新的、良好的物理和化學性能。20世紀70年代，在物體表面上鍍膜的方法主要有電鍍法和化學鍍法。前者是通過通電，使電解液電解，被電解的離子鍍到作為另一個電極的基體表面上，因此這種鍍膜的條件，基體必須是電的良導體，而且薄膜厚度也難以控制。后者是采用化學還原法，必須把膜材配制成溶液，并能迅速參加還原反應，這種鍍膜方法不僅薄膜的結合強度差，而且鍍膜既不均勻也不易控制，同時還會產(chǎn)生大量的廢液，造成嚴重的污染。實踐證明，電子束鋼帶真空鍍膜具有很多優(yōu)點：（1）可選擇的鍍膜材料多而不受材料熔點限制。因此，這兩種被人們稱之為濕式鍍膜法的鍍膜工藝受到了很大的限制。

parylene可以改變橡膠制品的表面特性，改變橡膠制品的摩擦性能、觸感、耐化學藥品溶脹、耐靜穿性能等。

硅橡膠經(jīng)Parylene Coating后可以在硅膠按鍵產(chǎn)品的表面形成的一種均勻而極?。?-3 μm）、且與原產(chǎn)品表面輪廓相一致的聚合物保護層。經(jīng)過Parylene后的產(chǎn)品，具有優(yōu)越的屏障特性、光學性能、熱性能以及良好的抗磨擦能力，使用壽命大大加強。（4）電子槍蒸發(fā)鍍膜機使用時的束斑直徑、電功率、加束電壓、掃描軌跡、頻率等參數(shù)都容易實現(xiàn)調(diào)節(jié)。

密封墊：儲油、儲氣裝置上的密封墊的表面經(jīng)過Parylene Coating后，可以起到防泄漏的作用