然而對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)

符合以下原則：

　　1、潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。

　　2、相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。

　　3、潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

　　壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。

對于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺車及重量的運(yùn)輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。

C/R很怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網(wǎng)有很多種。例如層流式C/R而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA濾網(wǎng)組燈光組亦有可能包含空白的嵌板，這類型的天花板優(yōu)點(diǎn)為，放置方式并沒有嚴(yán)格的限制。C/R之墻壁還有一種是以薄鋼制成，但必須在表層涂上一層保護(hù)層，否則亦會腐蝕，它并不容易電鍍，而在表層涂上的保護(hù)層會變得易碎，很容易剝落，但若選擇高質(zhì)量的不銹鋼，就不必涂上保護(hù)層7，而使用玻璃作的C/R會使得房間的光線大增，以及美觀，但必須涂上一抗紫外線的障礙物，且可以視覺互通，較不會產(chǎn)生幽閉恐懼癥。