湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術服務。

其基本爐型有罩式、井式、臥式，但是通常以罩式為常見。轟擊表面的一部分氮奪取電子后直接滲人工件表面，在工件表面上形成含氮很高的呈蒸發(fā)狀態(tài)的Fe，并不斷向工件內(nèi)部擴散，從而達到滲氮的目的。

離子滲氮是在真空室內(nèi)進行的，工件接高壓直流電源的負極，真空鐘單接正極。將真空室的真空度抽到66.67Pa后，充人少量氮氣或氫氣、氮氣的混合氣體。當電壓調(diào)整到400~800V時，氮即電離分解成氮離子、氫離子和電子，并在工件表面產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。正離子受電場作用加速轟擊工件表面，使工件升溫到滲氮溫度。離子滲氮爐是將被處理的工件放置在真空容器中，在輝光放電條件下進行滲氮。氮離子在鋼件表面獲得電子，還原成氮原子而滲人鋼件表面并向內(nèi)部擴散，形成滲氮層。

操作比氣體滲氮復雜，需要控制的廠藝參數(shù)多，測量溫度和控制溫度均勻比較難；裝爐有嚴格要求，裝爐不妥或形狀不同、大小不同的零件混裝爐容易出現(xiàn)滲層不均勻等疵病，造成廢品或返修；設備費剛貴，有時需要配置輔助陽極等。

在放電開始前間隙中必須存在大量的種子電子，而長壽命的亞穩(wěn)態(tài)及其彭寧電離可以提供這些種子電子。根據(jù)10ns暴光的ICCD拍攝的放電圖像，Radu小組發(fā)現(xiàn)，在大氣壓惰性氣體He、Ne、Ar、Krypton的DBD間隙中，可以實現(xiàn)輝光放電。