專業(yè)維修愛德華真空泵 E2M80真空泵維修保養(yǎng)

供應(yīng)Edward愛德華EM 系列（大型油封式真空泵）維修保養(yǎng)，主要型號：E2M18,  E2M28,  E2M30, E2M40,  E2M80, E2M175， E2M275，同時(shí)提供愛德華真空泵維修包，保養(yǎng)配件，進(jìn)口愛德華真空泵油，免費(fèi)提供后期保養(yǎng)技術(shù)支持，品質(zhì)保證，希望廣大的客戶朋友可以在茫?；ヂ?lián)網(wǎng)中找到一家技術(shù)成熟，性價(jià)比又高的愛德華真空泵維修廠家、、、、

承諾：

1：凡使用我司提供的真空泵耗材在正常使用過程中導(dǎo)致貴司的真空泵故障和異常，我司將免費(fèi)負(fù)責(zé)處理和維修，并免費(fèi)提供機(jī)器給客戶備用，以確?？蛻粽Ｉa(chǎn)。

2：凡使用我司的真空泵耗材，正常使用過程中，在保用期內(nèi)出現(xiàn)任何質(zhì)量問題我司將對其免費(fèi)更換。

3：在未涉及到真空設(shè)備組裝、加工核心技術(shù)的前提下，其它日常保養(yǎng)及維修，我司免費(fèi)提供技術(shù)支持。

4：珠三角范圍客戶我司承諾24小時(shí)內(nèi)派出技術(shù)人員到達(dá)客戶公司及時(shí)處理真空設(shè)備故障，東莞范圍客戶8小時(shí)到達(dá)。

E2M80真空泵維修保養(yǎng)覆蓋地區(qū)：全國各地，珠三角地區(qū)可以上門提貨，如有特殊需要可以提供現(xiàn)場維修。外地的一般是走物流，我司維修好后再郵寄回去。

半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時(shí)通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。愛德華70#真空泵油應(yīng)用：真空泵油適用于往復(fù)式增壓泵、機(jī)械增壓泵和油封機(jī)械真空泵等使用，亦可用于各種擴(kuò)散真空泵等。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對這兩種應(yīng)用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價(jià)值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因?yàn)檩p型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。EdwardsE2M80油封式旋片真空泵愛德華真空泵Edwards真空泵旋片泵油回轉(zhuǎn)高真空泵愛德華E2M80油封式旋片真空泵Edwards真空泵。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運(yùn)行時(shí)間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)超高真空。iH干泵系列的峰值抽速從80到1800立方米/小時(shí)，其中iH1800干泵是專為高排量應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險(xiǎn)并延長 維修間隔。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

使用真空泵機(jī)組時(shí)需要注意什么?

1、在蒸餾系統(tǒng)和真空泵機(jī)組之間，必須裝有吸收裝置。

2、蒸餾前必須用水泵徹底抽去系統(tǒng)中溶劑的蒸氣。

3、如能用水泵抽氣的，則盡量用水泵，如蒸餾物質(zhì)中含有揮發(fā)性物質(zhì)，可先用水泵減壓抽降，然后改用油泵。

4、真空泵機(jī)組腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。

5、減壓系統(tǒng)必須保持密不漏氣，所有的橡皮塞的大小和孔道要合適，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。