善測(cè)（天津）科技有限公司位于天津市西青學(xué)府工業(yè)區(qū)，于 2015年 7 月份成立，公司注冊(cè)資本 500 萬(wàn)，是一家集研發(fā)生產(chǎn)一體的高科技公司。公司借助天津大學(xué)儀器科學(xué)與技術(shù)學(xué)科及精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的資源平臺(tái)和技術(shù)優(yōu)勢(shì)，由從事儀器領(lǐng)域科學(xué)研究及產(chǎn)品開發(fā)的教授和工程師共同創(chuàng)立，專業(yè)從事先進(jìn)傳感器和監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)，為航空國(guó)防、工業(yè)制造、農(nóng)業(yè)環(huán)保、能源石化、科研儀器等行業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及行業(yè)解決方案。        

公司在2015年成為科技型中小企業(yè)，并設(shè)立了院士工作站，目前主要開發(fā)和經(jīng)營(yíng)以下3類產(chǎn)品和服務(wù)：旋轉(zhuǎn)機(jī)械狀態(tài)監(jiān)測(cè)和健康管理、光電視覺(jué)及環(huán)保檢測(cè)、高精度幾何量檢測(cè)。相關(guān)技術(shù)打破國(guó)外壟斷，技術(shù)水平達(dá)到國(guó)外同類產(chǎn)品的先進(jìn)水平。

科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子裝備總體研究室在納米級(jí)高精度檢焦系統(tǒng)方法研究中取得新進(jìn)展：提出了一種雙光路光強(qiáng)調(diào)制光柵檢焦方法，該方法利用兩光路的信號(hào)比求解硅片的離焦量，消除了光強(qiáng)波動(dòng)導(dǎo)致的測(cè)量誤差，具有納米量級(jí)的測(cè)量精度，在光刻領(lǐng)域具有很大的應(yīng)用價(jià)值。相關(guān)結(jié)果發(fā)表于近期的IEEE Photonics。

提高分辨力一直是光刻技術(shù)發(fā)展的主旋律，由瑞利公式R=K1λ/NA可知，縮短波長(zhǎng)是提高分辨力的有效手段。每次更短波長(zhǎng)光刻的應(yīng)用，都促使集成電路性能得到極大提升。而由焦深公式DOF=K2λ/NA2可知，提高分辨力總是以犧牲焦深為代價(jià)的。目前主流的投影光刻設(shè)備，即使采用離軸照明等波前工程技術(shù)，焦深也僅維持在百納米量級(jí)，加上由真空吸附翹曲、襯底平整度、抗蝕劑厚度等引起的基片表面起伏變化焦深范圍進(jìn)一步縮小，為了使基片表面始終保持在投影系統(tǒng)焦深范圍內(nèi)，保證曝光圖形質(zhì)量，對(duì)檢焦系統(tǒng)提出了極高的要求。目前最常用的調(diào)焦調(diào)平方法還是基于光柵的光電測(cè)量方法。該方法雖然精度較高且易于實(shí)現(xiàn)，但該測(cè)量方法易受光源或反射率波動(dòng)引起的光強(qiáng)變化的影響，從而降低檢測(cè)精度。因此，研究新型的檢焦方法和消除光強(qiáng)波動(dòng)帶來(lái)的測(cè)量影響具有重要的研究?jī)r(jià)值。

善測(cè)（天津）科技有限公司位于天津市西青學(xué)府工業(yè)區(qū)，于 2015年 7 月份成立，公司注冊(cè)資本 500 萬(wàn)，是一家集研發(fā)生產(chǎn)一體的高科技公司。公司借助天津大學(xué)儀器科學(xué)與技術(shù)學(xué)科及精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的資源平臺(tái)和技術(shù)優(yōu)勢(shì)，由從事儀器領(lǐng)域科學(xué)研究及產(chǎn)品開發(fā)的教授和工程師共同創(chuàng)立，專業(yè)從事先進(jìn)傳感器和監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)，為航空國(guó)防、工業(yè)制造、農(nóng)業(yè)環(huán)保、能源石化、科研儀器等行業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及行業(yè)解決方案。       

確定性側(cè)向位移（Deterministic lateral displacement，DLD）柱形微流控芯片是一種有效的檢測(cè)分析和分離富集微米級(jí)顆粒的技術(shù)，包括血液中的寄生chong、菌、血細(xì)胞和循環(huán)瘤細(xì)胞等。然而，這種技術(shù)還沒(méi)有應(yīng)用到真正的納米級(jí)，如能達(dá)到納米級(jí)后就可用于分析生物膠體，比如外泌體。外泌體，“液體活檢”中的一個(gè)重要靶標(biāo)，是細(xì)胞分泌的一種納米級(jí)膜泡，其包含很多組織細(xì)胞來(lái)源的核酸和蛋白質(zhì)的信息。利用大小、表面標(biāo)志物對(duì)外泌體進(jìn)行分選是外泌體生物學(xué)研究的一個(gè)相當(dāng)大的挑戰(zhàn)。

光電所在納米級(jí)高精度測(cè)量系統(tǒng)方法研究中取得新進(jìn)展

       公司在2015年成為科技型中小企業(yè)，并設(shè)立了院士工作站，目前主要開發(fā)和經(jīng)營(yíng)以下3類產(chǎn)品和服務(wù)：旋轉(zhuǎn)機(jī)械狀態(tài)監(jiān)測(cè)和健康管理、光電視覺(jué)及環(huán)保檢測(cè)、高精度幾何量檢測(cè)。相關(guān)技術(shù)打破國(guó)外壟斷，技術(shù)水平達(dá)到國(guó)外同類產(chǎn)品的先進(jìn)水平。　   

美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院（NIST）的科學(xué)家們開發(fā)了一種新的裝置，可以測(cè)量超微粒子的運(yùn)動(dòng)，這些超微粒子的運(yùn)動(dòng)距離小得不可想象，比氫原子的直徑還小，或者說(shuō)比一個(gè)人的頭發(fā)絲的百萬(wàn)分之一還小。這種手持設(shè)備可以以前所未有的精度探測(cè)微小零部件的原子級(jí)運(yùn)動(dòng)，而且，研究人員還找到了這種高靈敏度測(cè)量工具的量產(chǎn)方法。

　   測(cè)量大型物體的小運(yùn)動(dòng)是比較容易的，但是當(dāng)移動(dòng)部件的尺寸為納米級(jí)時(shí)，難度就會(huì)加大。精準(zhǔn)測(cè)量微觀物體的微小位移的能力，可用于檢測(cè)微量的危險(xiǎn)生物或化學(xué)試劑，完善微型機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)，精準(zhǔn)部署氣囊，以及檢測(cè)通過(guò)薄膜傳播的極弱聲波。

超精密加工設(shè)備的發(fā)展歷史

善測(cè)（天津）科技有限公司位于天津市西青學(xué)府工業(yè)區(qū)，于 2015年 7 月份成立，公司注冊(cè)資本 500 萬(wàn)，是一家集研發(fā)生產(chǎn)一體的高科技公司。公司借助天津大學(xué)儀器科學(xué)與技術(shù)學(xué)科及精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的資源平臺(tái)和技術(shù)優(yōu)勢(shì)，由從事儀器領(lǐng)域科學(xué)研究及產(chǎn)品開發(fā)的教授和工程師共同創(chuàng)立，專業(yè)從事先進(jìn)傳感器和監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)，為航空國(guó)防、工業(yè)制造、農(nóng)業(yè)環(huán)保、能源石化、科研儀器等行業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及行業(yè)解決方案。      

縱觀國(guó)內(nèi)外 40 多年超精密機(jī)床 發(fā)展史，可以總結(jié)出兩大特點(diǎn)：一是 大學(xué)和研究所保持著對(duì)超精密機(jī)床 研究的持續(xù)熱情，對(duì)高技術(shù)進(jìn)行超前 研究，對(duì)超精密機(jī)床產(chǎn)業(yè)化和商品化 起著推動(dòng)的作用；二是超精密機(jī)床 的模塊化、系統(tǒng)化是其進(jìn)入市場(chǎng)的重 要技術(shù)手段。

美國(guó)是開展超精密加工技術(shù)研 究早的國(guó)家，也是迄今處于領(lǐng)頭地位的國(guó)家。早在 20 世紀(jì) 50 年代末，由于航天等尖端技術(shù)發(fā)展的需 要，美國(guó)首先發(fā)展了金剛石刀具的超 精密切削技術(shù)，稱為SPDT（技術(shù)， 并 發(fā)展了相應(yīng)的空氣軸承主軸的超精 密機(jī)床，用于加工激光核聚變反射 鏡、及載人飛船用球面非球 面大型零件等。

美國(guó)Union Carbide公司于 1972 年研制成功了 R θ 方式的非 球面創(chuàng)成加工機(jī)床。這是一臺(tái)具有 位置反饋功能的雙坐標(biāo)數(shù)控車床， 可實(shí)時(shí)改變刀座導(dǎo)軌的轉(zhuǎn)角 θ 和 半徑 R ，實(shí)現(xiàn)非球面的鏡面加工。 Moore公司于1980 年首先開發(fā)出了 用3個(gè)坐標(biāo)控制的M-18AG 非 球 面加工機(jī)床，這種機(jī)床可加工直徑為 356mm 的各種非球面金屬反射鏡。 英國(guó)Cranfield大學(xué)精密工程研究 所(CUPE)研制的大型超精密金剛 石鏡面切削機(jī)床，可以加工大型 X 射線天體望遠(yuǎn)鏡用的非球面反射鏡 (大直徑可達(dá)1400mm，大長(zhǎng)度為 600mm 的圓錐鏡 )。