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半導(dǎo)體氣體傳感器成本低廉
半導(dǎo)體氣體傳感器原理:在一定溫度下,電導(dǎo)率隨著環(huán)境氣體成份的變化而變化的原理制造的。比如,酒精檢測儀利用二在高溫下遇到酒精氣體時,電阻會急劇減小的原理制備的。 半導(dǎo)體氣體傳感器應(yīng)用:半導(dǎo)體式氣體傳感器可以有效地用于:、、丙烷、丁烷、酒精、甲醛、、二氧化碳、乙烯、、、、等很多氣體地檢測。尤其是,這種傳感器成本低廉,適宜于民用氣體檢測的需求。
新材料開發(fā)傳感器材料介紹
新材料開發(fā) 傳感器材料是傳感器技術(shù)的重要基礎(chǔ),是傳感器技術(shù)升級的重要支撐。 隨著材料科學(xué)的進步,傳感器技術(shù)日臻成熟,其種類越來越多,除了早期使用的半導(dǎo)體材料、陶瓷材料以外,光導(dǎo)纖維以及超導(dǎo)材料的開發(fā),為傳感器的發(fā)展提供了物質(zhì)基礎(chǔ)。例如,根據(jù)以硅為基體的許多半導(dǎo)體材料易于微型化、集成化、多功能化、智能化,以及半導(dǎo)體光熱探測器具有靈敏度高、精度高、非接觸性等特點,發(fā)展紅外傳感器、激光傳感器、光纖傳感器等現(xiàn)代傳感器;在敏感材料中,陶瓷材料、有機材料發(fā)展很快,可采用不同的配方混合原料,在精密調(diào)配化學(xué)成分的基礎(chǔ)上,經(jīng)過高精度成型燒結(jié),得到對某一種或某幾種氣體具有識別功能的敏感材料,用于制成新型氣體傳感器。此外,高分子有機敏感材料,是近幾年人們極為關(guān)注的具有應(yīng)用潛力的新型敏感材料,可制成熱敏、光敏、氣敏、濕敏、力敏、離子敏和生物敏等傳感器。傳感器技術(shù)的不斷發(fā)展,也促進了更新型材料的開發(fā),如納米材料等。美國NRC公司已開發(fā)出納米ZrO2氣體傳感器,控制機動車輛尾氣的排放,對凈化環(huán)境效果很好,應(yīng)用前景比較廣闊。由于采用納米材料制作的傳感器,具有龐大的界面,能提供大量的氣體通道,而且導(dǎo)通電阻很小,有利于傳感器向微型化發(fā)展,隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進步將有更多的新型材料誕生
新工藝的采用在發(fā)展新型傳感器中
新工藝的采用 在發(fā)展新型傳感器中,離不開新工藝的采用。新工藝的含義范圍很廣,這里主要指與發(fā)展新興傳感器聯(lián)系特別密切的微細加工技術(shù)。該技術(shù)又稱微機械加工技術(shù),是近年來隨著集成電路工藝發(fā)展起來的,它是離子束、電子束、分子束、激光束和化學(xué)刻蝕等用于微電子加工的技術(shù),目前已越來越多地用于傳感器領(lǐng)域,例如濺射、蒸鍍、等離子體刻蝕、化學(xué)氣體淀積(CVD)、外延、擴散、腐蝕、光刻等,迄今已有大量采用上述工藝制成的傳感器的國內(nèi)外報道。