光波超精密——開式氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式

平面封閉型導(dǎo)軌：這種形式的導(dǎo)軌，由于工作臺(tái)導(dǎo)軌面變形較小，可以達(dá)到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機(jī)床和測(cè)量?jī)x器等設(shè)備的長(zhǎng)導(dǎo)軌。

重量平衡式導(dǎo)軌：此結(jié)構(gòu)導(dǎo)軌的圓度、圓筒度和導(dǎo)孔間距等精度完全由機(jī)械加工確定，全部載荷由導(dǎo)柱承擔(dān)，易發(fā)生變形，故除垂直導(dǎo)軌外，多用于輕載荷、短導(dǎo)軌。

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負(fù)荷變化小的場(chǎng)合。

光波超精密——開式氣浮導(dǎo)軌

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌與重量平衡式導(dǎo)軌是同一種類型，適用于工作臺(tái)重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負(fù)壓和靜壓的同時(shí)，由固定的導(dǎo)軌間隙維持。

線性導(dǎo)軌主要有以下幾種類型

一、滑動(dòng)(動(dòng)壓力)導(dǎo)向器。

二是靜壓導(dǎo)軌，根據(jù)流體的不同，可分為：空氣靜壓導(dǎo)軌(氣浮導(dǎo)軌)和液體靜壓導(dǎo)軌。

三、滾動(dòng)導(dǎo)軌，因滾動(dòng)體不同而分為滾珠導(dǎo)軌和滾柱導(dǎo)軌。

四、磁浮軌道

幾何精度和導(dǎo)向精度是直線導(dǎo)軌各項(xiàng)精度指標(biāo)中比較重要的兩項(xiàng)。

根據(jù)檢測(cè)方法的不同，可以對(duì)導(dǎo)軌直線度進(jìn)行分類，對(duì)一般的導(dǎo)軌直線度，通常采用水平儀測(cè)距和橋板測(cè)距兩種方法，根據(jù)得到的一條近似于導(dǎo)軌實(shí)際線的誤差曲線，確定導(dǎo)軌直線度誤差。

但在測(cè)量高精度導(dǎo)軌直線度時(shí)，導(dǎo)軌本身的直線度等級(jí)會(huì)與檢測(cè)工具的直線度等級(jí)達(dá)到一個(gè)數(shù)量級(jí)，此時(shí)使用距法就不能將導(dǎo)軌與工具的直線度誤差分離，這時(shí)就需要一種不使用基準(zhǔn)的高精度測(cè)量方法或技巧來(lái)有效地分離誤差，一般常用的是“直尺反測(cè)誤差分離法”。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——開式氣浮導(dǎo)軌

當(dāng)前導(dǎo)軌直線度的常用檢測(cè)方法有：

有基準(zhǔn)測(cè)量：將被測(cè)直線與選定的標(biāo)準(zhǔn)線相比較

無(wú)基準(zhǔn)測(cè)量：在被測(cè)表面上取一定量的測(cè)點(diǎn)，用某種方法處理測(cè)量數(shù)據(jù)

用于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上的導(dǎo)向裝置有：滑動(dòng)導(dǎo)向裝置、滾動(dòng)導(dǎo)向裝置和氣浮導(dǎo)向裝置。滑軌精度高，承載能力強(qiáng)，但低速運(yùn)行時(shí)摩擦阻力大，容易產(chǎn)生爬行，也不易在高速下運(yùn)行，有逐漸被氣浮導(dǎo)軌取代的趨勢(shì)。現(xiàn)在大多數(shù)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)都采用安氣靜壓導(dǎo)軌，也叫氣浮式導(dǎo)軌，其優(yōu)點(diǎn)是制作簡(jiǎn)單，精度高，摩擦系數(shù)小，工作平穩(wěn)。

該微結(jié)構(gòu)能有效地應(yīng)用于超精密機(jī)床的動(dòng)靜導(dǎo)軌表面，可有效地降低氣浮導(dǎo)軌間隙內(nèi)高速氣體的流動(dòng)阻力，提高機(jī)床定位精度和系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)速度。以計(jì)算流體動(dòng)力學(xué)方法(CFD)為基礎(chǔ)(Computational fluid dynamics, CFD)，應(yīng)用雷諾平均方程和帶旋流修正的k-：湍流模型，建立了導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)表面流體動(dòng)力減阻分析模型，并結(jié)合流場(chǎng)分析和阻力分析，尋找符合氣浮導(dǎo)軌功能要求的微結(jié)構(gòu)表面。本文研究了導(dǎo)軌表面微溝槽的形狀和幾何特征參數(shù)對(duì)減阻效果的影響規(guī)律，并通過(guò)識(shí)別各種因素對(duì)減阻效果的影響規(guī)律，分析了矩形、 V形、 U形、 V形、Space-V形等四種微結(jié)構(gòu)表面形態(tài)，確定了z適ui合超精密機(jī)床氣浮導(dǎo)軌減阻要求的微溝槽形狀。然后，通過(guò)研究導(dǎo)軌氣浮表面微結(jié)構(gòu)減阻功能表面的幾何特性(構(gòu)型、尺寸、形狀、位置等)對(duì)減阻的影響規(guī)律，對(duì)氣浮導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)功能表面的參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——開式氣浮導(dǎo)軌

氣浮式導(dǎo)軌利用空氣的粘性，把外壓縮空氣通過(guò)節(jié)流器引入導(dǎo)軌和滑塊之間的間隙，形成具有超高剛度的氣膜間隙，使負(fù)載得以平穩(wěn)運(yùn)行i。

氣浮式導(dǎo)軌電子制造設(shè)備工業(yè)中超精密測(cè)量和實(shí)驗(yàn)室測(cè)量，如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米和亞微米工業(yè)磨擦系數(shù)接近零，永i不磨損。

持久的精i確度，出廠精i確度即永i久精i確度

導(dǎo)向器永i不磨損，因此不存在售后問(wèn)題，無(wú)需返修，更不用全套更換。

精i確度永不丟失，導(dǎo)軌無(wú)需人工校正，補(bǔ)償。

計(jì)量準(zhǔn)確。由于氣膜剛度大、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、振幅小、振動(dòng)頻率接近，所以可以完全避免和消除高精度測(cè)量中振動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響，摩擦力小，低速運(yùn)動(dòng)不會(huì)產(chǎn)生爬行抖動(dòng)現(xiàn)象。隨動(dòng)電機(jī)快速性好，適應(yīng)頻繁啟停測(cè)試要求