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金鋼線切割專用設備
目前,行業(yè)內硅片生產(chǎn)企業(yè)進行金鋼線切割技術升級改造的方案主要有兩種:
1,,即在現(xiàn)有的傳統(tǒng)砂漿線設備基礎上,通過對設備內部軟硬件進行升級改造,從而滿足金鋼線切割工藝。
2.改造方案是直接采購金鋼線切割專用設備。
基于金剛線本身性能與普通鋼線的差異,金剛線切割對切片機的設備提出了更高的要求。因此現(xiàn)有的主流砂漿線切割設備在不進行改造的前提下,不能使用金剛線切割。
高速線切割設備
樹脂金剛石線的特點:
高強度樹脂及金剛石相結合帶來的強的切割能力,線徑及金剛石粒度的配合及控制表現(xiàn)出了更好的硅片表面質量及切割表現(xiàn),高耐扭曲能力的母線帶來了非常低的斷線率。但樹脂金剛石線的工藝復雜,目前主要依靠進口,其成本較高,因此還得不到廣泛的應用。
線切割設備多采用電鍍金剛石線,國內的線切割設備生產(chǎn)廠家眾多,生產(chǎn)能力強,已經(jīng)可以滿足各領域的切割需求
金剛石線切割機
金剛石線徑的選擇:
金剛石線徑通常根據(jù)材料的特性選擇,一般硬度高、強度大、耐磨損、耐腐蝕的材料不易被切割,因此應選用線徑較粗、金剛石顆粒大的金剛石線,以此來保證金剛石線切割機對材料的切割能力和切割速度。當切割的材料易于切割時不需要很大的摩擦力便能將材料切削,因此一般選用小線徑小顆粒的金剛石線。一些時候實驗者會根據(jù)個人實驗目的或被切割材料的特性對切割線徑進行具體要求,如要求切割下來的樣品表面平整度Ra在一定范圍內或要求盡可能節(jié)約樣品,這時所用金剛石線應按規(guī)定選擇適當?shù)木€徑。市場上有專為材料研究人員而設計,用于脆性材料樣品的精密切割機。