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壓電陶瓷執(zhí)行器驅動電源主要有電壓控制型和電流/電荷控制型兩種[3],從實現方式上主要有線性和開關式兩種[4]。電壓控制型壓電陶瓷執(zhí)行器驅動電源有以下幾種方式:
1)線性直流放大式電源直接采用高壓運算放大器的方式具有靜態(tài)性能好、集成度高、結構簡單等優(yōu)點,但由于高壓運算放大器的輸出電流一般都小于200mA,因此壓電陶瓷執(zhí)行器的動態(tài)性能受到限制。
電子陶瓷應用發(fā)展趨勢
具有更薄更小尺寸的片式壓電陶瓷頻率元器件;頻率更高的壓電陶瓷諧振器;具有更高頻率精度,更優(yōu)異頻率穩(wěn)定性,可靠性更高的壓電陶瓷頻率元器件;具有優(yōu)異的耐熱性,能適用無鉛回流焊需要的片式陶瓷頻率元器件;不含或少含有毒、有害元素的片式壓電陶瓷頻率元器件的應用會受到關注。壓電陶瓷換能器產生的超聲波處理廢水及有毒水。具有徑向尺寸小、輸出力矩大、可控性強等特點的超聲電機;電子陶瓷應用發(fā)展趨勢具有更薄更小尺寸的片式壓電陶瓷頻率元器件。防盜、測高、汽車防撞、遙控開關和機器人測距離等超聲傳感器;伺服位移制動器、光學應變鏡、應變光柵、超精密導向機構、切磨誤差補償制動器、油壓伺服閥等應特別關注。