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設(shè)計(jì)凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級(jí)過(guò)濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級(jí)過(guò)濾器。也可分四級(jí),增加一級(jí)過(guò)濾器。凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí),工程的墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用氧化鋁型材。10級(jí):主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級(jí),并且我國(guó)半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中,在未來(lái)對(duì)潔凈度的要求更加高。
直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí),無(wú)論是新建還是重新改造的凈化車(chē)間,都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。1000級(jí) 一般只對(duì)塵埃濃度做要求,用于光學(xué)器件,儀器等高精儀器等10000級(jí),用于液壓設(shè)備的生產(chǎn),和一些食品飲料的生產(chǎn)。100000級(jí),這個(gè)級(jí)別比較的低,對(duì)凈化度要求不是很高,主要在印刷廠,包裝廠等。
1級(jí):主要應(yīng)用于電子工業(yè),這是目前對(duì)凈化工程要求高的環(huán)境,集成電路要求的精度要達(dá)到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進(jìn),對(duì)潔凈室的要求越來(lái)越高。及時(shí)生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米,也會(huì)使產(chǎn)品壽命受到影響。要說(shuō)凈化工程在發(fā)展的前景方面,形勢(shì)還是非常好的,市場(chǎng)需求更是一片大好。因?yàn)槲覀儑?guó)家的制藥、電子信息等行業(yè)都在迅速發(fā)展,所以對(duì)凈化工程行業(yè)的發(fā)展起到了帶動(dòng)的作用。在這里需要提醒大家的是自從我們國(guó)家的方面的改革條文GMP-2010發(fā)布之后,既推動(dòng)了生物和食品化工行業(yè)的發(fā)展,也間接的推動(dòng)了凈化工程行業(yè)的發(fā)展。而且相關(guān)方面的政策支持也讓凈化工程行業(yè)的發(fā)展機(jī)遇推到了。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。