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真空泵的前級壓強
1、真空泵的前級壓強 PA是真空泵的前級壓強單位,它是指排氣壓強低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。
2、真空泵的前級壓強,它是指超過了能使泵損壞的前級壓強。真空泵口前級壓強單位是PA。
3、真空泵的工作壓強是指對應(yīng)抽氣量的入口壓強。在此壓強下,真空泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。真空泵的工作壓強的單位是PA,
螺桿真空泵的原理
螺桿泵是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動,利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級,氣體在相等的各個槽內(nèi)(柱形等螺距)進行傳輸運動,但無壓縮,只有螺桿末端的螺旋結(jié)構(gòu)對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度,以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對泵的性能有很大影響。在設(shè)計螺桿各部的間隙時,要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境(如抽除含粉塵氣體等)。
真空泵選型
真空泵在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對ya有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
真空泵的技術(shù)術(shù)語
真空泵除主要特性,極限壓力,流量和抽氣速率之外,尚有一些名詞術(shù)語表達泵的有關(guān)性能和參數(shù)。
1、啟動壓力。泵無損壞啟動并有抽氣作用時的壓力。
2、前級壓力。排氣壓力低于101325Pa的真空泵的出口壓力。
3、壓縮比。泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。
4、何氏系數(shù)。泵抽氣通道面積上的實際抽氣速率與該處按分子瀉流計算的理論抽氣速率之比。