旋片式真空泵噪音：這里指泵的噪音。

1、敲缸，泵運(yùn)轉(zhuǎn)時發(fā)出不規(guī)律的響聲，似金屬敲打金屬的聲音。這是旋片在擊打泵體發(fā)出的聲音。這種情況主要是配對旋片間的彈簧斷或者是收縮或彈出失效造成的。解決之道：打開泵檢查旋片彈簧是否損壞。更換好的彈簧。

2、排氣閥片噪音，主要是泵的排氣閥片破損。解決之道：更換好的排氣閥片。

愛發(fā)科NRL180A真空泵維修

清洗吸氣過濾網(wǎng)吸氣濾網(wǎng)應(yīng)保持清潔，以免抽速下降。

更換排氣過濾器如果泵溫明顯升高、電動機(jī)電流達(dá)到或超過額定電流，泵排氣口有油煙產(chǎn)生，則應(yīng)檢查排氣過濾器是否堵塞，如堵塞，應(yīng)及時更換。可在泵加油孔處安裝排氣壓力表，檢查過濾器是否堵塞。當(dāng)壓力超過0.6bar（表壓力）時可更換排氣過濾器。

貯藏如果泵長期擱置不用，應(yīng)將油放盡并清洗泵，然后注入規(guī)定的新油放置在干燥場所。

日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修：愛發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵，用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能，高真度運(yùn)行，由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力，所以泵能提供更強(qiáng)的安全性。5kw、接口VG40、潤滑油ulvacR-7一次性注油量：10。

泵不良現(xiàn)象及原因分析

1、不良現(xiàn)象：真空泵運(yùn)行過載報警。

2、原因分析：

經(jīng)對真空泵進(jìn)行拆解， 發(fā)現(xiàn)以下幾個問題點(diǎn)：

不良現(xiàn)象 原因分析

（1）轉(zhuǎn)子軸套部磨損：

因軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)子下限，軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。

（2）泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳：

因泵軸承損壞，轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導(dǎo)致高溫，齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。

（3）軸承磨損：

因軸承潤滑脂失效，軸承干性旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致軸承滾珠在軸承內(nèi)干磨。