潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)合適濕度范圍為35—45%。(1)送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。

潔凈室中的氣流速度規(guī)定

這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時再說明。對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求；(1)送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。

(2)吹過水平面的氣流速度（例如側(cè)送時回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。

潔凈廠房隔斷車間板材

      1、彩鋼夾芯板，缺點：不防火

泡沫夾芯板是由彩色鋼板作表層，閉孔自熄型聚本乙烯泡沫塑料做芯材，通過自動化連續(xù)成型機將彩色鋼板壓型后用高強度 粘合劑粘合而成的一種新型復合建筑材料。主要適用于公共建筑、工業(yè)潔凈廠房的屋面、墻壁和電子、、食品潔凈廠房以及組合冷庫、樓房加層、商亭等。由于這類車間內(nèi)，人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應取下列的高值：非單向流潔凈室總送風量的10-30%。

      2、巖棉夾芯彩鋼板（缺點：硬度不強）

      是由天然的巖石，高爐鐵礦渣等經(jīng)高溫熔化成絲，再經(jīng)過固化成型。它具有600℃的耐火性能，耐火等級達到1級。它的芯材是不可以燃燒的巖棉。如有防腐、防銹工程，其表面材料可改用不銹鋼板面。

      3、機制板夾芯板（缺點：造價較高）

      機制板機械制作，一次成型，中間填充巖棉、聚氨酯、泡沫等材料.兩側(cè)為雌雄口連接.廣泛應用于工業(yè)潔凈廠房的非承重內(nèi)墻面、屋面、吊頂及單層組合房屋的承重墻板，主要用于電子、半導體、、生物、食品等潔凈車間的凈化隔斷、吊頂。