真空鍍膜機(jī)真空器件的常用檢漏方法

真空鍍膜機(jī)真空器件的常用檢漏方法 依據(jù)電真空器材的結(jié)構(gòu)特色及丈量精度要求，常用的有兩種檢漏辦法，即氦罩法和噴吹法（這兩種檢漏辦法具體介紹可見：氦罩法和噴吹法的氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏常見辦法）。檢漏時，先用氦罩法進(jìn)行總漏率的測定，當(dāng)總漏率超出答應(yīng)值后再用噴吹法進(jìn)行漏孔的認(rèn)位。 氦罩法是被檢件與檢漏儀銜接抽真空到達(dá)檢漏狀況后，用一個充溢氦氣的查驗罩，把被檢件全體或部分的表面面包圍起來，如圖4所示。查驗罩充氦時先將罩內(nèi)空氣排出再充氦，以確保罩內(nèi)氦濃度盡可能挨近100百分之，被檢件上任何地方有走漏。 檢漏儀都會有漏率值改變，顯示出漏率值。氦罩時刻也要繼續(xù)3~5倍檢漏儀呼應(yīng)時刻。ASM192T2氦質(zhì)譜檢漏儀反應(yīng)時刻小于0.5s,因而氦罩時刻30s即可。氦罩法可方便地測定被檢件總漏率，不會漏掉任何一處漏點(diǎn)，但不能確認(rèn)漏孔方位。 噴吹法是將被檢件與儀器的真空體系相連，對被檢件抽真空后用噴槍向漏孔處吹噴氦氣。當(dāng)有漏孔存在時，氦氣就經(jīng)過漏孔進(jìn)入質(zhì)譜儀被檢測出，噴吹法彌補(bǔ)了氦罩法不能定位的缺點(diǎn)。

真空鍍膜設(shè)備的工作離不開相應(yīng)的監(jiān)測

真空鍍膜設(shè)備的工作離不開相應(yīng)的監(jiān)測，那么如何監(jiān)測呢？下面一起來看看吧。 1.目視監(jiān)控使用雙眼監(jiān)控，因為薄膜在成長的過程中，因為干涉現(xiàn)象會有色彩改變，我們即是依據(jù)色彩改變來操控膜厚度的，此種辦法有必定的差錯，所以不是很，需求依托經(jīng)歷。 2.定值監(jiān)控法此辦法使用停鍍點(diǎn)不在監(jiān)控波長四分之一波位，然后由計算機(jī)計算在波長一時總膜厚之反射率是多少，此即為中止鍍膜點(diǎn)。 3.水晶振動監(jiān)控使用石英晶體振動頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的?？墒鞘⒈O(jiān)控有一個欠好的地方即是當(dāng)膜厚添加到必定厚度后，振動頻率不全然因為石英自身的特性使厚度與頻率之間有線性關(guān)系，此刻有必要使用新的石英振動片。 4.極值監(jiān)控法當(dāng)膜厚度添加的時候其反射率和穿透率會跟著起改變，當(dāng)反射率或穿透率走到極值點(diǎn)的時候，就能夠知道鍍膜之光學(xué)厚度ND是監(jiān)控波長（入）的四分之一的整倍數(shù)?？墒菢O值的辦法差錯對比大，因為當(dāng)反射率或許透過率在極值鄰近改變很慢，亦即是膜厚ND添加許多，R/T才有改變。反映對比的方位在八分之一波利益。

離子鍍膜設(shè)備的工作原理及操作方法

離子鍍膜設(shè)備的工作原理及操作方法 目前商業(yè)上已有很精制的設(shè)備安裝在顯微鏡下的載物臺的位置上。濺射鍍膜時，將拋光的試樣安放在式樣頭具上，傾轉(zhuǎn)到面對電子槍（陰極）的位置，調(diào)節(jié)濺射室中的氣壓，輝光放電，陰極濺射，反應(yīng)濺射沉積。一定時間后，中斷濺射，把濺射沉積的試樣表面，轉(zhuǎn)回到面對物鏡的位置，觀察試樣表面的顏色，來評定沉積膜的厚度，當(dāng)要求的顏色得到時，鍍膜操作停止。