特種氣體 specialily gas：用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。目前，國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小?？鐕髽I(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司，占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。特種氣體應(yīng)用于國民經(jīng)濟(jì)的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領(lǐng)域發(fā)揮著巨大的作用。我國特種氣體經(jīng)過30余年的發(fā)展, 無論在氣體品種上,還是在數(shù)量上, 都以的速度發(fā)展, 生產(chǎn)的品種基本上滿足了市場的需求。

 特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。對(duì)于單元高純氣體,根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻(xiàn),匯總起來共有227種,可分成五個(gè)類別。有專用氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當(dāng)?shù)奈ｋU(xiǎn)標(biāo)記(例如、、有毒等) 。 　包裝標(biāo)志：有毒氣體。常溫下，干氯不腐　蝕鋼｛但在水和濕氣存在時(shí)，由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強(qiáng)腐蝕性應(yīng)保持設(shè)備中無　水，管路、閥門和容器不用時(shí)應(yīng)密封或加帽，從而與大氣中的濕氣隔離。

 特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對(duì)氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎(chǔ)化工材料，特種氣體隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展，應(yīng)用范圍越來越廣泛。電子特種氣體種類多，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導(dǎo)體整個(gè)制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%，但是由于其品種繁多，在半導(dǎo)體制程工藝中覆蓋廣泛，因此成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。特種氣體是電子工業(yè)，特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體，該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個(gè)必然方向，這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進(jìn)步以滿足純度的要求。

 電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體，人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質(zhì)期，天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術(shù)，以1小化任何局部活性位點(diǎn)在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力，然后再填充特種氣體。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,但對(duì)純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。