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電子氣體污染控制要求日趨嚴格隨著電子消費品的升級換代,產品制造尺寸越來越大,產品良率和缺陷控制越來越嚴格,整個電子工業(yè)界對電子氣體氣源純度,以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來越苛刻?;旧瞎I(yè)界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術指標,直接與分析儀器技術進步帶來的較低檢測極限(直接關聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測試儀可測到微米,而核凝結技術可達到微米。目前超大規(guī)模集成電路制造線寬已經發(fā)展到納米,對于大宗氣體的純度都要求在級別,顆粒度控制直指分析儀器的下限。實驗室超高亮度技術指標已達到以上,對于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于氨氣則釆用多級精餾生產技術指標到達的白氨的氫氣需要采用先進的鈀膜純化器提純至。
高純氣體在線精密過濾器的材質種類選擇
目前高純氣體過濾基本都是國外的供應商??词呛唵危枪に嚭筒馁|要求是很高的。對于那高溫,耐壓,耐腐蝕,惰性要求之高,可以說對過濾材料要求。用量大,要求很高,競爭相對少,自然利潤也很高。這就是很多過濾設備生產商摘得一顆明珠。
應用:食品,電子,半導體制造,石油化工、太陽能、液晶面板制造等行業(yè)。
過濾其外殼材質:二次提純不銹鋼316L VAR不銹鋼或鎳過濾器外殼,EP表面電子拋光。
過濾介質:不銹鋼,鎳合金,特氟龍PFA濾膜 ,,316L燒結不銹鋼、燒結金屬鎳多孔金屬過濾介質,Hastelloy C-22燒結多孔金屬(哈氏合金)。
甲烷氣體的健康危害
侵入途徑:吸入。
健康危害:甲烷氣體對人基本無毒,但濃度過高時,使空氣中氧含量明顯降低,使人窒息。當空氣中甲烷達25%-30%時,可引起頭疼、頭暈、乏力、注意力不集中、呼吸和心跳加速、共濟失調。若不及時遠離,可致窒息。皮膚接觸液化的甲烷,可致冬傷。
甲烷氣體對環(huán)境可能有危害,對魚類和水體要給予特別注意。還應特別注意對地表水、土壤、大氣和飲用水的污染。