凈化工程一般是建設(shè)潔凈室的工程。  

一、潔凈室之定義   潔凈室，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。  潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、xi菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。2mm厚，電解鋼板，電解鋼板背襯12厚石膏板基層，鋼板在工廠加工成型，到現(xiàn)場拼裝，板與板之間點焊，板縫補(bǔ)原子灰處理，面層噴抗jun漆，墻與頂、墻與墻直角的轉(zhuǎn)角采用圓弧形轉(zhuǎn)角。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

凈化工程建造

鋁塑板墻面：輕鋼龍骨基層，輕質(zhì)隔墻內(nèi)填防火巖棉，基層安裝12mm厚石膏板，面層粘貼3mm厚鋁塑板，板與板之間預(yù)留3mm板縫，板縫采用密封膠密封。抗jun涂料墻面：清理墻面基層，基層刮膩子，面層噴抗jun涂料。  通體磚墻面：清理基層，面層粘貼8厚瓷磚，磚縫預(yù)留3mm,采用白水泥抹縫。系統(tǒng)總送風(fēng)量、新風(fēng)量、總排風(fēng)量和對外壓差可以通過調(diào)整風(fēng)機(jī)頻率轉(zhuǎn)速或總閥門開啟度來實現(xiàn)，各房間的風(fēng)量和壓力則可通過調(diào)整分支管路閥門開度來實現(xiàn)。

頂面：

手術(shù)室電解鋼板頂面：采用型鋼龍骨骨架，面層安裝1.0mm，厚電解鋼板，電解鋼板背襯12厚石膏板基層，鋼板在工廠加工成型，到現(xiàn)場拼裝，板與板之間點焊，板縫補(bǔ)原子灰處理，面層噴抗jun漆，墻與頂、墻與墻直角的轉(zhuǎn)角采用圓弧形轉(zhuǎn)角。完成后的墻面為整體無縫。凈化工程靜電問題靜電放電引起的最危險的災(zāi)害是成為可燃物的火源井引起炸，例如國外文獻(xiàn)統(tǒng)計，在手術(shù)室使用炸性ma醉劑的86000次中，炸的36次，其中由靜電引起的達(dá)21次。

凈化工程——無塵車間

所謂的無塵車間是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路技術(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵車間)潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。 由于奈米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線時，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。二、在滿足人生產(chǎn)工藝要求的前提下，潔凈室的氣流組級別，宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式。