氦質(zhì)譜檢漏儀

高速排氣性能：在微漏模式下He的排氣速度達(dá)到5L/s ;2  2  采用與本體獨(dú)立的平版觸摸式顯示器：搭載無(wú)線控制系統(tǒng)；2  可進(jìn)行直觀操作：的識(shí)別性及簡(jiǎn)易的測(cè)試畫面；2  支持多種真空泵：油回轉(zhuǎn)泵、渦旋型干泵；2  裝有方便使用及操作簡(jiǎn)單的推車，901系列 也提供低底盤型號(hào)；

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氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理

對(duì)子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連，氦質(zhì)譜檢漏儀的真空度可能抽不上去，使氦質(zhì)譜檢漏儀無(wú)法工作。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng)，提高對(duì)被檢件的抽速。的輔助真空系統(tǒng)只需一個(gè)機(jī)械泵和兩個(gè)閥門，復(fù)雜的系統(tǒng)可由前級(jí)泵、次級(jí)泵、閥門、真空規(guī)及標(biāo)準(zhǔn)漏孔等組成。次級(jí)泵可用擴(kuò)散系或羅茨泵，前級(jí)系氣鎮(zhèn)式機(jī)械泵。

氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)的氦質(zhì)譜檢漏儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。 此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。