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潔凈室等級標準
潔凈室按空氣清潔程度分類,如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm。
例如,1級、10級、例如100級無塵室較大塵埃粒子數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆。
如果塵粒尺寸不是0.5μm,無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示,分別分為1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,數(shù)值越小,凈化級別就越高。潔凈度越高造價就越高。
各行業(yè)對潔凈度等級的要求
一級凈化車間:主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的要求為亞微米。10級:主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
百級凈化車間:可用于醫(yī)i藥工業(yè)的無菌制造工藝等。
千級凈化車間:主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機陀螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
萬級凈化車間:主要用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級潔凈室在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
十萬級凈化車間:十萬級潔凈室用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn)等。
潔凈室的四大要素
㈠、潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)至少應(yīng)有粗效、中效和高i效過濾器三級過濾措施。尤其是在終端應(yīng)有高i效過濾器(HEPA)(ULPA)。
㈡、潔凈室送風(fēng)應(yīng)有足夠的空調(diào)(消除室內(nèi)余熱、余濕)和凈化(保持潔凈度)送風(fēng)量。其送風(fēng)量不僅能消除室內(nèi)的余熱內(nèi)的溫度,同時還能消除或稀釋室內(nèi)粒子污染,保證室內(nèi)的潔凈度。
㈢、潔凈室必須建立和維持必要的相對壓數(shù)(正壓或負壓)
㈣、潔凈室應(yīng)有合理的氣流流型,以保證其室內(nèi)的潔凈度和溫度等參數(shù)。