廢氣處理設(shè)備選型必須適合和可靠，這為達(dá)標(biāo)排放奠定了基礎(chǔ)。因?yàn)閺U氣的成份繁多，廢氣處理設(shè)備的品質(zhì)直接影響安全生產(chǎn)運(yùn)行和設(shè)備凈化效果。所以，環(huán)保達(dá)標(biāo)排放也是一大原則。應(yīng)盡可能關(guān)閉反應(yīng)器，以避免空氣（氧氣）進(jìn)入反應(yīng)器和廢氣管道，降低高濃度廢氣中的氧含量，較好的處理方法是惰性化(如充氮)。前處置普通包括除油、除銹、鈍化磷化工藝。針對不同的涂層及統(tǒng)一魔蝕的要求,除油、除銹、磷化等處置辦法要視工件原資料的狀況來挑選。

廢氣處理設(shè)備的安全性有二大部分組成：一，廢氣處理設(shè)備本身的安全可靠性；二，有機(jī)廢氣凈化系統(tǒng)設(shè)計的安全可靠性。二者只要有一存在安全性問題，那必然存在安全隱患。廢氣處理設(shè)備對高濃度廢氣進(jìn)行預(yù)處理，分析各車間產(chǎn)生的廢氣，含有禁忌物質(zhì)的廢氣應(yīng)分開處理。當(dāng)有害物質(zhì)（如活性炭，疊氮化合物等）可能沉積在廢氣管道中時，應(yīng)考慮定期清潔廢氣管道。廢氣處理設(shè)備的系統(tǒng)管路如果使用的原材料為易導(dǎo)致靜電感應(yīng)的塑料，這樣在菱形和三通管件處非常容易導(dǎo)致靜電感應(yīng)現(xiàn)象，為了防止發(fā)生機(jī)械故障，應(yīng)做好設(shè)備的防靜電防范保護(hù)措施。

排氣管道應(yīng)在所有危險點(diǎn)（如支管接入歧管）設(shè)置排氣板，以減少大量爆氣體返回反應(yīng)釜并產(chǎn)生連鎖反應(yīng)。電控及自控是廢氣處理工程系統(tǒng)的指揮中心，所以電控原理設(shè)計要簡潔、可靠。電氣元件要安全、可靠。應(yīng)有良好的工作環(huán)境。除了需要定時清理還需要加強(qiáng)設(shè)備的檢修和加強(qiáng)設(shè)備的日常維護(hù)。檢修人員應(yīng)每月檢查一次所有凈化設(shè)施，根據(jù)實(shí)際情況決定檢修的內(nèi)容、時間、要求及方法等。