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這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更全。復(fù)合式(MixedType)復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。紊流主要決定于雷諾數(shù),也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個(gè)過濾器頂送的送風(fēng)形式,則即使流速極低,也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果,這就因?yàn)樗且粋€(gè)突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動(dòng)而發(fā)生的摻混,而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。
作用
控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。
國外潔凈室的強(qiáng)度要求極高,例如美國關(guān)于潔凈室的幾個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的要求是.人工光300lx有較好的效果,當(dāng)工件精細(xì)程度更高時(shí),500x也是允許的。(2)局部照明這是指為增加某一特定地點(diǎn)(如工作點(diǎn))的照度而設(shè)置的照明。對(duì)于要紅燈照明的地方,如電子行業(yè)的光刻車間,其照度一般為(25—501x),用天然光時(shí)可允許更高的照度,因而對(duì)工作是有利的,所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動(dòng)向。
防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面。潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正( )負(fù)<一)電荷等量的均勻的電中性狀態(tài),而使電荷過剩,物體呈帶電狀態(tài),由于這些電荷平時(shí)是不流動(dòng)的,故稱靜電。
3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之分體空調(diào)柜機(jī) FFU送風(fēng)口
這是簡易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來,在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。
優(yōu)點(diǎn):A.不需要占用機(jī)房面積,布置很靈活的;B.可以滿足空氣的潔凈度;C.造價(jià)少。如此類無塵車間初投資約需要40萬;D.送風(fēng)均勻度好。
缺點(diǎn):A.溫濕度控制較差;B.可以滿足空氣的潔凈度;C.FFU的維修頻率高。
4、凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí),無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。
凈化工程技術(shù)的興起不過是上個(gè)世紀(jì)的事情,但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著高、精、尖方向發(fā)展,對(duì)凈化車間的依賴度也越來越高。在本設(shè)計(jì)里是指末端工藝的一些無塵車間,其凈化潔凈度一般為千級(jí)或萬級(jí)或十萬級(jí)。而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展,建設(shè)凈化車間的技術(shù)含量也越來越高,非專業(yè)人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域,凈化工程技術(shù)還會(huì)逐漸應(yīng)用于家庭、公共場合,為人們提供更潔凈的生活空間。