質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

（1）氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量少（在空氣中約含5×10-6），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔?，由某些原因引起本底的波?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來(lái)，靈敏度高。

（2）氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬?duì)分子質(zhì)量為4），易于穿過(guò)漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過(guò)同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

（3）氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)污染被檢件，使用安全。

（4）在氦兩側(cè)的離子是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們?cè)诜治銎髦械钠D(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開(kāi)，調(diào)氦峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對(duì)分析器制造精度的要求，易于加工。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過(guò)，提高了儀器靈敏度。

（5）氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附，容易被抽走。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過(guò)漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)展集中體現(xiàn)如下方面：

1.智能化：以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動(dòng)檢測(cè)。

2.便捷化：這幾年市場(chǎng)上各種小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)樾袠I(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。

3.自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。

4.全無(wú)油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。

氦質(zhì)譜檢漏儀從以往的單方面領(lǐng)域的應(yīng)用到現(xiàn)在多領(lǐng)域的應(yīng)用，如：航空航天高科技工業(yè)、電力行業(yè)、電子行業(yè)、真空儀器儀表行業(yè)、核工業(yè)、制冷行業(yè)、不銹鋼保溫器皿等。其實(shí)氦質(zhì)譜檢漏儀的領(lǐng)域應(yīng)用廣發(fā)也是代表科技的一大進(jìn)步，常見(jiàn)的氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)儀方法有漏點(diǎn)型、漏率型兩種。

氦質(zhì)譜檢漏儀適用于元件檢漏的要求，靈活性測(cè)試，高靈敏度，快速于的結(jié)果，快速啟動(dòng)，移動(dòng)性和系統(tǒng)的可靠性。

氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗(yàn)方法

靈敏度及其校準(zhǔn)

氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于佳工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的小漏孔漏率。所謂“佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到佳值，被檢件出氣少且沒(méi)有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“小可檢”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí)，才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的大波動(dòng)量。

如果檢漏時(shí)用輔助系統(tǒng)抽氣(即對(duì)示漏氦氣有分流)?；蛴美鄯e法檢漏時(shí)，給出儀器小可檢氦濃度(即濃度靈敏度)。記為γmin，能較方便地估計(jì)檢漏效果。

濃度靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)中應(yīng)用量計(jì)測(cè)出通過(guò)針閥2進(jìn)入儀器的空氣流率qL.o，則儀器濃度靈敏度。

氦質(zhì)譜檢漏儀開(kāi)機(jī)步驟

1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開(kāi)抽速閥，開(kāi)漏孔開(kāi)關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來(lái)位置，再關(guān)抽速閥。

2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”，燈亮，擴(kuò)散泵開(kāi)始加熱。

3、等20分鐘左右，擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱，開(kāi)冷規(guī)開(kāi)關(guān)，“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。

4、開(kāi)抽速閥，過(guò)幾分鐘后開(kāi)冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再?gòu)挠蚁蜃笾饾u上升(真空示值在1×10-2Pa以下請(qǐng)不要長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)冷規(guī)，可等一會(huì)兒再開(kāi))，當(dāng)真空示值超過(guò)1×10-2Pa后，可啟動(dòng)燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開(kāi)、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。

5、將工件用外接泵抽上真空后，開(kāi)節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對(duì)工件噴氦檢漏。檢漏完，關(guān)節(jié)流閥。