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輪廓儀測量后,測量結(jié)束后,維護(hù)尚未結(jié)束。確保清潔工作表面并保持工作臺清潔。此外,請檢查滑道,并且不要在滑道上留下任何碎屑或水漬。結(jié)束后,關(guān)閉電源并關(guān)閉電源輪廓儀點線處理(兩直線交點,交點到直線距離,交點與交點距離,交點到圓心的距離)、直線度、凸度、對數(shù)曲線、槽深、槽寬、溝曲率半徑、溝邊距、溝心距、輪廓度、水平距離等形狀參數(shù)。輪廓儀主要是用來測量零件表面的輪廓形狀,反應(yīng)的是零件的宏觀輪廓,比如說:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數(shù)??傊喞獌x反映的是零件的宏觀輪廓。
輪廓儀球軸承溝道的溝曲率半徑及溝邊距;雙溝軸承的溝心距、溝道所在圓的圓心距;四點接觸軸承(桃形溝)的溝心距和溝曲率半徑;以及兩直線交點、點到點、點到線的距離等。輪廓儀準(zhǔn)備溫度在啟動機(jī)器之前,請先檢查其濕度,濕度和儀器清潔度,然后檢查電源是否工作正常,定期檢查穩(wěn)壓電源的接地。輪廓儀測量原理,表面輪廓儀采用直角坐標(biāo)測量法,觸針接觸式。機(jī)械部份采用精密氣浮直線運(yùn)動導(dǎo)軌,建立X坐標(biāo)的精密測量基準(zhǔn),Z坐標(biāo)由數(shù)字傳感器構(gòu)成,可以測量各種精密機(jī)械零件的素線形狀。
光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、、科研院所等領(lǐng)域中。輪廓儀主要是用來測量零件表面的輪廓形狀,反應(yīng)的是零件的宏觀輪廓,比如說:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數(shù)。總之,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學(xué)檢測儀器。