氦檢漏設(shè)備簡(jiǎn)介

中文名:真空檢漏

拼音:zhenkong jianlou

英文名:vacuum leak detection

真空系統(tǒng)、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊縫、機(jī)械連接處存在孔洞、裂紋或間隙等缺陷，外部大氣通過(guò)這些缺陷進(jìn)入系統(tǒng)內(nèi)部，致使系統(tǒng)、容器或器件達(dá)不到預(yù)期的真空度，這種現(xiàn)象稱(chēng)為漏氣。造成漏氣的缺陷稱(chēng)為漏孔。漏孔尺寸微小、形狀復(fù)雜，無(wú)法用幾何尺寸表示，因此在真空技術(shù)中用漏率來(lái)表示漏孔的大小。漏率是指單位時(shí)間內(nèi)漏入系統(tǒng)的氣體量，其單位為帕·米3/秒(Pa·m3/sec)或托·升/秒(Torr·L/sec)。

1Pa·m3/sec=7.5(Torr·L/sec)

真空檢漏技術(shù)就是用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門(mén)技術(shù)，相應(yīng)的儀器稱(chēng)為檢漏儀。在真空系統(tǒng)、容器、器件制造過(guò)程中借助真空檢漏技術(shù)確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統(tǒng)、容器、器件中的真空狀態(tài)得以維持。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護(hù)

以下是深圳銳誠(chéng)真空為您一起分享的內(nèi)容，深圳銳誠(chéng)真空專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)氦檢漏設(shè)備，歡迎新老客戶(hù)蒞臨。

質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測(cè)靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用，但是在長(zhǎng)時(shí)間的使用過(guò)程中常常會(huì)出現(xiàn)一些故障和現(xiàn)象，從而影響設(shè)備的正常使用。

檢漏儀的故障和處理

1 內(nèi)部的泄漏

當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門(mén)組件、真空計(jì)與閥門(mén)組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn)，更換密封件。

2 本底信號(hào)不穩(wěn)定

1）本底信號(hào)過(guò)高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門(mén)窗打開(kāi)通風(fēng)，降低環(huán)境本底。

2）本底信號(hào)過(guò)高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí)，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠(chǎng)進(jìn)行清洗，本底信號(hào)不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。

3）本底信號(hào)不穩(wěn)定，檢查泵油是否渾濁，被污染。

3 設(shè)備的分子泵不啟動(dòng)

分子泵不啟動(dòng)，主要有檢查供電和前級(jí)真空是否正常（較常見(jiàn)的是前級(jí)真空機(jī)械泵故障或沒(méi)有打開(kāi)造成的分子泵無(wú)法啟動(dòng)）。或者是分子泵本身因振動(dòng)和粉塵污染造成的損壞。

4 設(shè)備的質(zhì)譜室不能正常工作

質(zhì)譜室主要是燈絲無(wú)法正常加電，在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無(wú)法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。

5 前級(jí)機(jī)械泵工作不正常

主要經(jīng)常觀(guān)察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會(huì)使油色變黑，水汽會(huì)使油色呈現(xiàn)乳白色，都將導(dǎo)致機(jī)械泵工作不正常。另外過(guò)低的溫度會(huì)使機(jī)械泵油粘稠度增加無(wú)法啟動(dòng)，過(guò)高的溫度也會(huì)使機(jī)械泵產(chǎn)生熱保停止工作，使用機(jī)械泵的環(huán)境溫度在 10至 40之間使用。

檢漏儀的維護(hù)保養(yǎng)常識(shí)及優(yōu)點(diǎn)

一、檢漏儀常規(guī)的維護(hù)：

適當(dāng)?shù)木S護(hù)您的檢漏儀是非常必要的，具體步驟如下：

1、探頭清潔：利用附送的防護(hù)罩防止灰塵、油脂阻塞探頭，在使用本儀器前，均要檢查探頭和防護(hù)罩確無(wú)灰塵或油脂。

2、拉下防護(hù)罩；

3、用工業(yè)毛巾或壓縮空氣清潔防護(hù)罩；

4、如果探頭本身也臟，可浸入像酒精等溫和清洗劑幾秒鐘，然后用壓縮空氣或工業(yè)毛巾清潔，嚴(yán)禁用像、、礦物油等溶劑，這樣易降低儀器靈敏度。

5、探頭更換：探頭終總要失效，需更換。由于探頭壽命直接和使用條件和頻次相關(guān)，因此較難預(yù)計(jì)準(zhǔn)確的更換時(shí)間。當(dāng)在清潔、純凈空氣中報(bào)警或不穩(wěn)定時(shí)，應(yīng)更換探頭，具體探頭步驟是如下：

（1）確認(rèn)本儀器處于關(guān)閉狀態(tài)

（2）逆時(shí)針旋下舊探頭

（3）順時(shí)針旋上包裝箱中提供的備用探頭。

二、檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)

1、多種語(yǔ)言和計(jì)量單位選擇，可選中文界面。

2、180度 電離偏轉(zhuǎn) (自然聚焦點(diǎn))的全新質(zhì)譜技術(shù)，金屬密封結(jié)構(gòu)。

3、新的電子線(xiàn)路及信號(hào)處理設(shè)計(jì)。

4、可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達(dá)12個(gè)量程。

5、快速清氦和快速響應(yīng)。

6、測(cè)試口耐壓高，可實(shí)現(xiàn)大漏檢漏。

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真空法氦質(zhì)譜檢漏原理

真空法氦質(zhì)譜檢漏原理：

采用真空法檢漏時(shí)，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的定位； 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來(lái)，在罩內(nèi)充滿(mǎn)一定濃度的氦氣，可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。

真空法檢漏有何優(yōu)點(diǎn)：真空法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，可以定位漏孔，能實(shí)現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

真空法檢漏缺點(diǎn)：真空法的缺點(diǎn)是只能實(shí)現(xiàn)一個(gè)大氣壓差的漏率檢測(cè)，不能真實(shí)反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實(shí)泄漏狀態(tài)。

用途：真空法的檢測(cè)主要應(yīng)用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動(dòng)部件、液氫槽車(chē)、環(huán)境模擬設(shè)備等。

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