廣州蘇盈電子科技-二氧化碳MEMS流量測量

氣體分子與加熱壁接觸完成熱傳導(dǎo)而帶走探針上的熱量。由于不同氣體分子帶走熱量的能力不一樣，所以在已知氣體分子導(dǎo)熱能力的情況下（Cp值已知），可以通過測量耗散的電功率直接獲得流過的氣體分子數(shù)（氣體分子數(shù)也就是質(zhì)量數(shù)），從而獲得氣體的質(zhì)量流量。熱式氣體質(zhì)量流量計的起源是來自于熱線式風速計。

測小流量氣體流量計標準裝置的研制能夠滿足對小流量氣體流量計如浮子、皂膜等的測量要求，也可用于家用膜式燃氣表的使用中檢查，該裝置操作簡單、快捷，易于直觀的得到測量結(jié)果。標準表法氣體流量標準裝置是國際上普遍使用的一種氣體流量標準裝置。

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熱式質(zhì)量流量計在環(huán)境保護和工業(yè)中應(yīng)用發(fā)展也比較多，熱式質(zhì)量流量計一般在測量氣體的時候必須是干燥的氣體，不能含有濕氣，流體的可能產(chǎn)生的沉積，結(jié)垢以及凝結(jié)物均將影響儀表的性能熱式氣體質(zhì)量流量計是利用傳熱原理檢測流量的儀表，熱式氣體質(zhì)量流量計有一體式和插入式兩種規(guī)格。

適合測量水、油、多種液體、蒸汽、空氣、、煤氣、、有機氣體、油渣等。

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我國是以煤為主要能源的國家，全國有上百萬個煙囪不停地向大氣排放煙氣。煙氣排放控制是污染的重要項目，每個煙囪必須是安裝煙氣分析儀表和流量計，組成連櫝排放監(jiān)視系統(tǒng)。能源計量是科學管理能源，實現(xiàn)節(jié)能降耗，提高經(jīng)濟效益的重要手段。流量儀表是能源計量儀表的重要組成部分，水、人工燃氣、、蒸汽和油品這些常用的能源都使用著數(shù)量極其龐大的流量計，它們是能源管理和經(jīng)濟核算不可缺少的工具。

熱式氣體質(zhì)量流量計是利用傳熱原理檢測流量的儀表，熱式氣體質(zhì)量流量計有一體式和插入式兩種規(guī)格。

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熱力流量計是根據(jù)熱擴散原理設(shè)計的流量儀表，即利用液體流經(jīng)發(fā)熱體時，發(fā)熱體的熱量散失與流體流量呈一定比例關(guān)系.該系列流量計的傳感器有兩個標準級RTD，一種用來測量流體溫度,

體時流量傳感器則寧可選擇水平安裝，因為這樣便于做到調(diào)零的零偏置。

浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安裝姿勢影響。然而在低流速測量時因受管道內(nèi)氣體對流的熱流影響，使安裝姿勢顯得重要。

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熱式氣體質(zhì)量流量計大都采用開路的負壓空氣標定，然后修正到高壓力工況，或者修正到其他氣體，比如氣、二氧化碳、氧氣、氫氣、氨氣等等。修正標定必然導(dǎo)致測量精度不能保證，低壓標定后的表應(yīng)用在高壓工況，空氣介質(zhì)標定后的表應(yīng)用在其他氣體介質(zhì)，測量精度無法保證。熱式流量儀表用得有兩類，流體計量是研究物質(zhì)量變的科學，質(zhì)量互變規(guī)律是事物發(fā)展的基本規(guī)律，因此其測量對象已不局限于傳統(tǒng)意義上的液體管道，凡需掌握量變的地方，都存在流量測量的問題。

都采用了極為龐大的流量計，在能源管理和經(jīng)濟核算中起著舉足輕重的作用。

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對小流量而言，儀表會給被測氣體帶來相當熱量。

對于熱分布式TMF，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗；對細管型儀表更有易堵塞的缺點，一般情況下不能使用。使用空氣流量計時，通過過流式流量計推動渦輪葉片轉(zhuǎn)動。葉片轉(zhuǎn)速與流過空氣流量計的氣量成正比。流量計口安裝有一特殊設(shè)計的導(dǎo)流架，隨著流量的增大，對進入流量計的氣流進行加速。采用導(dǎo)向架可以消除渦流、非對稱流等潛在流體擾動。同時，推動渦輪葉片的動力增加。在允許的誤差范圍內(nèi)，確保高精度測量，即使在小流量條件下也能測量。

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利用流動流體傳遞熱量改變測量管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)的熱分布式流量計曾稱量熱式;2)利用熱消散（冷卻）效應(yīng)的金氏定律。又由于結(jié)構(gòu)上檢測元件伸入測量管內(nèi)，也稱浸入型或侵入型有些在使用時從管外插入工藝管內(nèi)的儀表稱作插入式。

TMF無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很小；帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。

TMF使用性能相對可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現(xiàn)故障概率小。

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熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可,

熱式質(zhì)量流量計響應(yīng)慢。

被測量氣體組分變化較大的場所，因cp值和熱導(dǎo)率變化，測量值會有較大變化而產(chǎn)生誤差。

對小流量而言，儀表會給被測氣體帶來相當熱量。

對于熱分布式TMF，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗；對細管型儀表更有易堵塞的缺點，一般情況下不能使用。

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熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應(yīng)用于半導(dǎo)工業(yè)外延擴散、石油化工微型反應(yīng)裝置、鍍膜工藝、光導(dǎo)纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制，適用的工業(yè)管徑范圍寬，可達3m，輸出信號與被測流量線性，精度高，可測量電導(dǎo)率≥1μs/cm的酸、堿、鹽溶液、水、污水、腐蝕性液體和泥漿、礦漿的流體流量。但是空氣流量計不能測量氣體、蒸汽和純凈水的流量。