復合式ULSI制程大都采用此種型式

復合式

此種方式是為了將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

1．裝局部潔凈車間：將潔凈車間等級10,000~100,000之亂流潔凈車間內之產品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

2．凈管道：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

3．凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：①彈性擴充容易;②維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

建設凈化車間需要哪些材料和設備

對于一些行業(yè)來講，建設凈化車間是必須的，因為他們生產的產品其合格標準要求非常高。具體有哪些行業(yè)呢？比如消毒用品廠、保健用品廠、食品廠、化妝品 廠等等均對要求標準非常高。

關于建設凈化車間，有一點你是務必要清楚了解的，那就是建設凈化車間需要哪些材料和設備，如果你對這方面還不清楚的話，下面由思卡恩給大家分析整理一下建設凈化車間都需要哪些材料和設備。

建設凈化車間需要以下材料和設備：

1、所需材料如下：

彩鋼夾芯板、潔凈密閉門、潔凈密閉窗、潔凈照明燈具、環(huán)氧地坪或耐磨塑料地板、重型龍骨吊頂、PVC水管、螺旋風管、防水石膏板、鋁材以及電線電纜等等。（具體事例具體分析，并不是建每一個廠都需要這些材料的哦）

2、所需設備如下：

風淋室、傳遞窗、超凈工作臺、FFU過濾風機、空氣過濾器、層流罩、送風口、新風系統(tǒng)、潔凈空調系統(tǒng)、純水設備、恒溫恒濕機、袋式除塵設備以及過濾器等等。

凈化車間的風量因為工作人員比較多,可以根據下列標值應取以下的

凈化車間的風量因為工作人員比較多，可以根據下列標值應取以下的高值：非單邊流凈化室總送風量的10-30%;賠償房間內排風系統(tǒng)和堅持不懈房間內正壓力值所需的清新空氣量;保證 房間內每個人每鐘頭的清新空氣量≥40m3/h。充足的風力與風量是潔凈度等級的確保，大的風力與風量不但消耗動能，并且有時候會危害一切正常的工作中。一切正常的標準氣壓是一切正常工作中的基本上標準。必需的壓力差是操縱漏汽方位的方式。微電子技術領域的凈化車間為了更好地確保潔凈度等級，不允許低潔凈度等級的氣體向高潔凈度等級地區(qū)泄瀾。病毒實驗室或房不允許室內空氣質量向戶外泄露。達到質量標準的新風量：保證供給清潔房間內每個人每鐘頭的清新空氣量不小于40m3/h,另外考慮到有害物質產生的狀況。針對生產車間內存有的有害物質產生的狀況，應當依據生產車間內所含有害物質的濃度值來測算稀釋液房間內危害氣俸的新風量。

凈化車間排風系統(tǒng)是生產線中一個十分關鍵的系統(tǒng)

凈化車間排風系統(tǒng)是生產線中一個十分關鍵的系統(tǒng)。凈化車間方案設計中的排氣管系統(tǒng)有益于凈化車間的清潔液和工業(yè)廢氣的排出。它能夠迅速地將實驗站地挪走，確保凈化車間自始至終保持干凈。排汽管的生產制造應合乎以下規(guī)定：通風管道的性危害密封墊片原材料和固定不動原料應阻燃性。通風風管常用的地腳螺絲、螺帽、密封環(huán)和地腳螺栓應選用合乎管材特點、不容易造成電化學腐蝕的原料，或選用熱鍍鋅等防腐蝕對策；3鍍鋅鋼板不可因熱鍍鋅而比較嚴重毀壞鍍層，如表層有很多廢棄物，鍍層層次等。地腳螺絲與風管法蘭地腳螺栓孔的間隔不可超出100毫米；矩形框架構風管法蘭的四角應設定螺孔。

1、凈化車間的一般排風系統(tǒng)：生產制造輔助專室、日常生活用的室等排出來的一般有機廢氣，一般不用解決立即就排進了空氣。

2、有機化學的汽體排風系統(tǒng)：在生產過程中應用各種有機化學化學物質做為原料采購時，可能在有關的場地或機器設備處釋放有機化學化學物質的汽體，針對這種的場地或機器設備均應設定排風設備。凈化車間排風系統(tǒng)當中的有機廢氣要開展相對的解決，再排進空氣。

3、凈化車間總排風系統(tǒng)：生產加工輔助用地和日常日常生活用地排出的一般工業(yè)廢氣，一般在未解決困難的狀況下馬上排進空氣。分析化學品排汽系統(tǒng)：在生產過程中，當以各種各樣分析化學化學物質為原材料時，分析化學化學物質的蒸氣很有可能會在有關場地或工業(yè)設備上釋放出。該類場地或工業(yè)設備應設定排氣管機器設備。凈化車間排風系統(tǒng)中的工業(yè)廢氣在排進空氣前要開展相對的解決。

4、汽體排氣管系統(tǒng)：針對造成汽體（歸屬于物品或有害乃至有毒或有腐蝕的汽體）要避免 排氣管系統(tǒng)中造成化學變化，要區(qū)劃排氣管系統(tǒng)，凈化車間采用型的有機廢氣處理設備，做到環(huán)保標準后排進空氣。

5、堿性氣體排風系統(tǒng)：在商品生產制造里時有酸性氣體排出來，在凈化車間排風系統(tǒng)一般 設定濕試洗氣脫硫塔，解決后排進空氣。