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激光干涉儀的類型有哪些？

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機(jī)按計算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。但氮化硅在鋼材表面掃描時卻具有很顯著的磨擦磨損特性，因此其應(yīng)用限制在鋁質(zhì)工件上。

測針補(bǔ)償

三坐標(biāo)經(jīng)由測頭（硬質(zhì)測頭或電子式觸發(fā)測頭）來觸測零件以取得并收集測量數(shù)據(jù)，因?yàn)闇y針是利用測針球的圓周來觸測工件，所以觸測零件時測針球的球心點(diǎn)及測針的半徑必須事先計算出來，此測針校驗(yàn)動作就是先用測針去觸測標(biāo)準(zhǔn)球，當(dāng)測針校驗(yàn)過后（測量軟件已得知測針的球心位置跟半徑尺寸），當(dāng)測針接觸到零件時，三坐標(biāo)測量機(jī)控制柜接受的坐標(biāo)值應(yīng)是紅寶石球頭中心點(diǎn)坐標(biāo)，顯然，測量軟件將自動沿著測針從接觸點(diǎn)回退的方向加上一個紅寶石球半徑作為測量值。紅寶石測球的表面極為光滑，具有極高的抗壓強(qiáng)度和很高的機(jī)械耐磨性能。

講解球桿儀測試球桿儀測試之所以廣受歡迎，緣于測試本身簡單易行、使用便捷，而且能夠生成大量的定量信息。

測試原理是什么？理論上，如果在數(shù)控機(jī)床上編程跟蹤圓軌跡而且機(jī)器定位性能為理想狀態(tài)，則實(shí)際圓會與設(shè)定圓吻合。在實(shí)踐中，機(jī)床幾何尺寸中的很多因素、控制系統(tǒng)及磨損都可能造成測試圓半徑及其形狀偏離設(shè)定圓。

如果您能測量實(shí)際的圓軌跡，并將其與設(shè)定軌跡進(jìn)行比較，則將獲得機(jī)床精度的總體評估。這是包括球桿儀系統(tǒng)在內(nèi)的所有球桿儀的測試基礎(chǔ)。

講解球桿儀測試

數(shù)據(jù)采集：220° “部分圓弧”測試在QC20-W推出之前，垂直于標(biāo)準(zhǔn)XY測試平面的平面測試需使用特殊的測試座和重新定位中心座。現(xiàn)在您可以在無需移動中心座的情況下對互相垂直的三個平面進(jìn)行測試。

秘訣在于QC20-W系統(tǒng)在兩個平面執(zhí)行部分圓弧 (220°) 的能力。此功能可以生成該圓弧的修正測試分析，但仍然為該測試生成總體圓度值。