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國內(nèi)半導(dǎo)體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截斷、開方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設(shè)備。加工表面粗糙,浪費材料,金剛石帶鋸價格也不菲。
實際上,應(yīng)該使用金剛石線鋸機切割加工,能得到更高的質(zhì)量。
元素環(huán)形金剛石線切割機的主要性能:
1. 切割晶體尺寸: 300*300 mm
2. 切割線線速度: 小于60 m/s
3. 工作臺進給速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
瑞士威爾(Well)公司開發(fā)生產(chǎn)從3000-9000系列金剛石線鋸機,包括往復(fù)式線鋸機和環(huán)形線鋸機。威爾環(huán)形線鋸機相對往復(fù)式線鋸機,線速度有了較大的提高,但還沒有達到高速切割。此公司新開發(fā)的號稱高速切割機,線速度也僅達20m/sec,且環(huán)線周長較短,長度2.2米--2.4米,影響線切割壽命。是采用復(fù)合電鍍、滾扎,涂膠等方式,將高硬度的金剛石磨料固結(jié)在環(huán)形鋼絲基體上制成的。
鄭州元素工具秉持技術(shù)至上,研發(fā)的環(huán)形金剛石線,線速度可達60M/S,大大提升的切割速度歡迎各行業(yè)前來咨詢合作。
金剛石線切割機
金剛石線徑的選擇:
金剛石線徑通常根據(jù)材料的特性選擇,一般硬度高、強度大、耐磨損、耐腐蝕的材料不易被切割,因此應(yīng)選用線徑較粗、金剛石顆粒大的金剛石線,以此來保證金剛石線切割機對材料的切割能力和切割速度。當切割的材料易于切割時不需要很大的摩擦力便能將材料切削,因此一般選用小線徑小顆粒的金剛石線。一些時候?qū)嶒炚邥鶕?jù)個人實驗?zāi)康幕虮磺懈畈牧系奶匦詫η懈罹€徑進行具體要求,如要求切割下來的樣品表面平整度Ra在一定范圍內(nèi)或要求盡可能節(jié)約樣品,這時所用金剛石線應(yīng)按規(guī)定選擇適當?shù)木€徑。硅片是晶體硅光伏電池技術(shù)中最昂貴的部分,所以降低這部分的制造成本對于提高太陽能對傳統(tǒng)能源的競爭力至關(guān)重要。
?線切割設(shè)備
線切割設(shè)備的速度調(diào)整:
切割速度的大小不僅與材料的性質(zhì)有關(guān),與切割面的大小也有關(guān)系,同種材料切割時,被切面較大的切割速度設(shè)置就要相對較小一些。無論切割何種材料切割速度太快都不利于切割出光滑平整的試樣面,速度太快切割后的樣品表面會有明顯的切割線痕跡,因此當要求切斷試樣同時還要有很好的面型(平面度、平行度、表面粗糙度)時一般選用較慢的切割速度。市場上有專為材料研究人員而設(shè)計,用于脆性材料樣品的精密切割機。