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考慮到表面粗糙度測量的膜厚值[FE-0007]
當樣品表面存在粗糙度(粗糙度)時,將表面粗糙度和空氣(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模擬為“粗糙層”,可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測量表面粗糙度為幾nm的SiN(氮化硅)的情況。
1.膜厚測試儀出現(xiàn)下列情況,必需重新校準?! ば蕰r,輸入了一個錯誤值; ·操作錯誤?! ?.在直接方式下,如果輸入了錯誤的校準值,應緊接著做一次測量,隨后再做一次校準,即可獲取新值消除錯誤值。 3.每一組單元中,只能有一個校準值。 4.零點校準和二點校準都可以重復多次,以獲得更為精準的校準值,提高測量精度但此過程中一旦有過一次測量,則校準過程便告結束。
膜厚測試儀波譜校準 不關機狀態(tài)下每日必做一次或每次關機3小時以上再次重開機必做,目的讓儀器進行自我補償調(diào)整。首先點擊任務欄中的“波譜校準”,然后將波譜校準片放入儀器,將Cu-Ag合金部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測量(點擊Go鍵)。待膜厚測試儀器自動完成每一步,紅色STOP鍵會轉變成綠色GO鍵后,將純Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測量(點擊Go鍵),完成后出現(xiàn)“波譜校準成功”字樣的對話框時,點擊“確定”即可。