由單質(zhì)氟與硫直接化合而得。反應(yīng)也會生成硫的其他氟化物如十氟化二硫，可通過加熱使其歧化后，再用氫i氧化鈉處理除去剩余的四氟i化硫而純化。

六氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優(yōu)異的滅弧性能。其耐電強(qiáng)度為同一壓力下氮?dú)獾?.5倍，擊穿電壓是空氣的2.5倍，滅弧能力是空氣的100倍，是一種優(yōu)于空氣和油之間的新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，如:斷路器、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域。冷凍工業(yè)作為制冷劑，制冷范圍可在-45℃~0℃之間。電氣工業(yè)利用其很高介電強(qiáng)度和良好的滅電弧性能，用作高壓開關(guān)、大容量變壓器、高壓電纜和氣體的絕緣材料。

對于氣體導(dǎo)電性能增強(qiáng)有利于熄弧的原因，可能有點(diǎn)不太好理解，導(dǎo)電性能增強(qiáng)了只會有利于燃弧，怎么會有利于熄弧呢?原因是這樣的:導(dǎo)電性能增強(qiáng)了確實(shí)有利于燃弧，通過幾種氣體電弧的伏安特性曲線可以發(fā)現(xiàn)，六氟化硫氣體的伏安特性曲線i低，也就是說，在電流相同的情況下，六氟化硫氣體的電弧電壓i低，而電弧能量就是Uh*I，也i低，電弧在電流很小的情況下也能維持，不會發(fā)生斷裂，這樣就不會發(fā)生截流現(xiàn)象，這也是六氟化硫氣體比較優(yōu)越的地方;我們知道現(xiàn)在的六氟化硫斷路器都是在電弧電流過零時(shí)熄滅的，電弧在燃弧時(shí)電弧能量小，電弧的溫度和分解的氣體就相對也較少，這對于電流過零后間隙的絕緣強(qiáng)度的恢復(fù)非常有利，使得熄弧后很難發(fā)生重燃或復(fù)燃，所以六氟化硫氣體既有利于燃弧，又有利于熄弧。

此外，六氟化硫氣體的負(fù)電性(吸附自由電子的特性)和二次復(fù)合特性(在電弧中分解的低價(jià)氟化物在熄弧后迅速還原成六氟化硫分子)，這些特性也使得六氟化硫氣體無論是在起始介質(zhì)強(qiáng)度、介質(zhì)恢復(fù)速度還是終的介質(zhì)強(qiáng)度都是比較高的。

六氟化硫（sulfur hexafluoride）是一種無色、無臭、無毒、不燃的穩(wěn)定氣體，化學(xué)式SF?它的分子量為146.07，在20℃和0.1 MPa時(shí)密度為6.1kg/m3，約為空氣密度的5倍。六氟化硫在常溫常壓下為氣態(tài)，其臨界溫度為45.6℃，三相點(diǎn)溫度為-50.8℃，常壓下升華點(diǎn)溫度為-63.8℃。六氟化硫分子結(jié)構(gòu)呈八面體排布，鍵合距離小、鍵合能高，因此其穩(wěn)定性很高，在溫度不超過180℃時(shí)，它與電氣結(jié)構(gòu)材料的相容性和氮?dú)庀嗨啤?br />



法　將硫磺或其他硫化物在和二存在下與過量氟作用以制備六氟化硫。與氟燃燒法。聯(lián)產(chǎn)法　氯氟代甲烷和六氟化硫聯(lián)產(chǎn)，氟化碳（COF2）與六氟化硫聯(lián)產(chǎn)。 [3] 作用用途編輯1、新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。作為良好的氣體絕緣體，被廣泛用于電子、電氣設(shè)備的氣體絕緣。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域，用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。