淪分子泵是一套超高速、超真空的裝置，它的旋轉(zhuǎn)速度高達(dá)90000RPM（1500轉(zhuǎn)／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十億分之二個(gè)大氣壓），并且它設(shè)計(jì)緊湊，體積小，重量輕。主要有兩個(gè)系列：STP和EXT，主要區(qū)別是EXT系列的回轉(zhuǎn)軸承是陶瓷的，而STP系列的回轉(zhuǎn)軸承是用磁性材料制成的。干泵選擇CVD制程通常需要通過(guò)選擇適當(dāng)?shù)母杀卯a(chǎn)品來(lái)克服四個(gè)特定挑戰(zhàn)。

五、羅茲泵

EDWARDS在全球早推出高抽速的羅茨泵，其抽氣率從240m3／h到4500m3／h，極限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽氣率，常串油式或干式泵使用

六、真空計(jì)

愛(ài)德華真空計(jì)測(cè)量范圍從2000-10-11mbar，內(nèi)設(shè)先進(jìn)的微處理器控制；

適用于鋰離子電池制造設(shè)備的全球真空泵制造商鋰離子電池正在推動(dòng)全世界的環(huán)保議程，可靠的高質(zhì)量真空是其制造過(guò)程中的關(guān)鍵因素。我們有一系列適合所有電池制造需求的泵，這些泵由全球服務(wù)和支持網(wǎng)絡(luò)提供支持。 油封旋轉(zhuǎn)式葉片泵：

低成本干泵：

可減少維護(hù)成本并降低環(huán)境影響智能泵：

高控制功能ATEX 認(rèn)證版本：

安全操作

惠州市明勝機(jī)電設(shè)備有限公司制造銷售各種真空泵，并提各類真空泵維修保養(yǎng)服務(wù)（羅茨，螺桿，旋片式，干式，水環(huán)式等真空泵維修保養(yǎng)）以及各類進(jìn)口真空泵配件耗材。服務(wù)品牌：普旭（博世）、里其樂(lè)、萊寶、貝克、愛(ài)發(fā)科、愛(ài)德華、大晃、斗一，阿爾卡特等進(jìn)口真空泵。定期檢查電動(dòng)機(jī)電流值，不得超過(guò)電動(dòng)機(jī)額定電流泵長(zhǎng)期運(yùn)行后，由于機(jī)械磨損，使機(jī)組噪聲級(jí)振動(dòng)增大時(shí)，應(yīng)停機(jī)檢查，必要時(shí)可更換易損零件及軸承，機(jī)組大修期一般為一年。