影像測量儀它可以用來進行零部件的尺寸、形狀及其相互位置的在線檢測，還可應(yīng)用于劃線、定中心孔、光刻集成線路對準等。影像測量儀的測量誤差是指影像測量儀本身所固有的誤差。造成儀器的誤差是多方面的，在儀器的設(shè)計、制造和使用的各個階段都可能產(chǎn)生誤差，分別稱為測量儀的 原理誤差、 制造誤差、 運行誤差。影像測量儀由高解析度CCD鏡頭、連續(xù)變焦物鏡、顯示器、精密光柵尺、多功能數(shù)據(jù)處理器、數(shù)據(jù)測量軟件與高精密工作臺組成。

 影像測量儀在平面上的尺寸測量誤差(Exy):  該丈量差錯代表在印象丈量平面上任意方向擺放產(chǎn)品或樣件，丈量二維尺度的示值差錯。將待測工件放于工作臺上，啟動運動控制程序通過運動控制卡來控制X、Y、Z三軸的運動使得它們達到合適的位置，并使待測工件的圖像能夠清晰的呈現(xiàn)到CCD中。影像測量儀的測量誤差是指影像測量儀本身所固有的誤差。

如果影像測量儀的測量平臺水平性能以及CCD攝像機的安裝十分出色，它們之間的夾角都在范圍以內(nèi)，此誤差非常小。影像測量儀排除法，排除法便是當儀器毛病時，能夠拔掉一些機內(nèi)插件板或器材，假設(shè)某一器材被拔掉后儀器康復(fù)正常，就闡明被拔掉的部分出了問題，需求替換。影像測量儀由高解析度CCD鏡頭、連續(xù)變焦物鏡、顯示器、精密光柵尺、多功能數(shù)據(jù)處理器、數(shù)據(jù)測量軟件與高精密工作臺組成。