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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠,硬度小且易吸附灰塵,不過干版還有包膜和超微顆粒干版,其中后者可以應(yīng)用于芯片制造。(順便提一下,通常講的菲林即film,底片或膠片的意思,感光為微小晶體顆粒)。
尺寸漲縮原因分析
膠片在光繪前沒有經(jīng)過預(yù)置
由于膠片制造時無法預(yù)先控制膠片中的濕度與每個生產(chǎn)車間的濕度一致,因此使用之前應(yīng)先使其與工作環(huán)境達到平衡的狀況。建議預(yù)置時間為12小時,預(yù)置時必須打開膠片的內(nèi)包裝,使其與外界的空氣充分接觸。
其中掩膜版圖形數(shù)據(jù)由用戶自行設(shè)計并提交,后續(xù)加工工藝由工程師完成。由于圖形數(shù)據(jù)準(zhǔn)備是掩膜版加工中的關(guān)鍵步驟,要求用戶對所提交的版圖文件仔細核對,確保圖形正確性。以下將對用戶較為關(guān)心的版圖繪制問題作出具體說明 。
光呆板業(yè)界別稱光掩模板、掩膜版,光罩,英文名字MASK或PHOTOMASK),材料:石英玻璃、金屬鉻和光感應(yīng)膠,該商品是由石英玻璃或是碳酸鈉夾層玻璃做為襯底,在其上邊鍍上一層層金屬鉻和光感應(yīng)膠。光刻掩膜版材質(zhì)可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。在塑料薄膜、塑膠或夾層玻璃化學(xué)反應(yīng)原材料上制做各種各樣作用圖型并精i明確位,便于用以光致抗蝕劑鍍層可選擇性曝i光的這種構(gòu)造,稱之為光刻掩模板。