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無塵車間潔凈室管理制度
1 所有承包商有責任確保他們的工人都了解這些規(guī)則和程序,并且在他們疏于遵從或違反時給予培訓和訓練。被分配到潔凈建設區(qū)域的每位工人有責任和義務理解并遵守潔凈建設規(guī)則和程序。
2 承包商負責執(zhí)行潔凈室草案。他將每天對潔凈建設區(qū)域進行檢查,并填寫檢查清單。承包商負責提供潔凈室所需物品,例如:鞋套,毛巾,墊子和工裝。他也負責提供每日執(zhí)行潔凈規(guī)則和程序的人員和設備。
3 承包商建造區(qū)域入口并對其進行管理。他提供清洗晾曬每個入口處鞋、外套和衣服的清洗店。他將對在潔凈區(qū)域工作的人員進行培訓,并維護被允許在此區(qū)域工作的人員身份認定和管理。
4 開始階段,承包商應在每個入口處安排人員(除非半導體公司在該入口處安排有人員)以確保了本規(guī)則和程序的執(zhí)行。
5重復違反規(guī)則和程序的人員將被開除。沒有貫徹執(zhí)行本規(guī)則和程序的供應商將被除名。
3 草案細則
潔凈室草案分為三部分,每一部分對應施工的一個過程。施工接近完工階段,不允許從外面或潔凈區(qū)域的施工場地帶入臟物。
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無塵室內生產(chǎn)制造設備應注意的重點
1.生產(chǎn)設備之選擇、布置與保養(yǎng):
a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設備及相關設備,尤其須注意活動部分之發(fā)塵。
b.應選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設備或接口設備。
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因,故應配備過濾裝置。
d.規(guī)劃各設備之配置空間時,事先宜考慮不易積累微塵之結構,規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設備,應設置在無塵室外面或回風區(qū),并加裝排氣管線排氣。
f.設置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時,其構造須考慮到容易清潔,不易積累污染物。
g.生產(chǎn)及相關設備應定期清掃,以避免微塵之堆積。
h.應加強注意室內的溫濕度控制,避免因濕度之不當造成結露生銹。
i.當設備維修時易產(chǎn)生微塵粒子,故維修時盡量于清潔室外進行,并加隔離柵隔離。
j.對于施工或維修之廠商,應告知進出無塵室之各項規(guī)定,且負責工程師應隨侍在側監(jiān)工。
k.應有無塵室專用工具組,但不得帶出無塵室外使用。
l.規(guī)劃空間時若能臨近無塵室設立一間維修和設備保養(yǎng)手冊置放室,將是一理想之規(guī)劃。
無塵車間的維護
1. 建立無塵車間安全措施綜合系統(tǒng),設置火災報警、排煙、消防、事故照明等設施,對制劑中使用化學藥品、氣體的無塵車間,還應根據(jù)腐蝕、可燃、自燃、有毒等物品性質采取相應的安全措施。
2. 無塵車間的維護管理應包括對無塵車間的空氣凈化設備、配制制劑中使用的物料、設備和無塵車間的操作人員等管理。應建立相應的管理制度,明確管理內容方法和責任,執(zhí)行應有記錄。
無錫無塵室
無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空??氣等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa3。