Leybold進(jìn)口分子泵接線圖服務(wù)為先「在線咨詢」

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發(fā)布時間：2020-11-09 10:42

廣州潽拓光電科技有限公司從事高真空設(shè)備研制、生產(chǎn)、銷售、工程安裝及售后維修服務(wù)于一體的綜合性企業(yè)，由從事多年真空系統(tǒng)開發(fā)，真空設(shè)備技術(shù)研發(fā)，維修工程師，工程師組成的一支技術(shù)實(shí)力雄厚，充滿活力的高素質(zhì)團(tuán)隊(duì)。

廣州潽拓光電——磁懸浮分子泵的振動抑制

2000 L 磁懸浮分子泵研制中，遇到復(fù)雜振動問題：轉(zhuǎn)子彎曲模態(tài)共振; 陀螺效應(yīng)造成動力學(xué)失穩(wěn); 葉輪葉片導(dǎo)致轉(zhuǎn)子顫振; 成因復(fù)雜的機(jī)電耦合模態(tài)振動。轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速達(dá)到20000r/min，故分子泵啟動時間較長。氣體處于分子流狀態(tài)，故需要配備前級泵，一般使用旋片泵作為前級泵。它們同時出現(xiàn)，嚴(yán)重影響轉(zhuǎn)子穩(wěn)定性，給振動抑制帶來困難，需進(jìn)行精細(xì)的控制器設(shè)計?？刂破髦?，對不同振動采用不同方法抑制：陀螺效應(yīng)依靠交叉反饋控制; 彎曲共振、分子泵葉輪葉片顫振及機(jī)電耦合模態(tài)振動，依靠各種不同的控制器傳遞函數(shù)相位方法。試驗(yàn)驗(yàn)證了方法的有效性，分子泵平穩(wěn)升速到24000 r/ min，樣機(jī)達(dá)到了設(shè)計真空性能指標(biāo)。

在分子泵轉(zhuǎn)子設(shè)計中，轉(zhuǎn)子一階彎曲模態(tài)頻率已經(jīng)盡量保持遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)子da工作轉(zhuǎn)動頻率即400 Hz,但其對轉(zhuǎn)子振動的影響依然不能忽略，尤其在高速運(yùn)行時，陀螺效應(yīng)造成一階彎曲振動反向渦動模態(tài)頻率下降明顯。試驗(yàn)驗(yàn)證了方法的有效性，分子泵平穩(wěn)升速到24000r/min，樣機(jī)達(dá)到了設(shè)計真空性能指標(biāo)。通常認(rèn)為傳統(tǒng)軸承支承的轉(zhuǎn)子，反向渦動很難被激發(fā)，但對電磁軸承轉(zhuǎn)子系統(tǒng)，經(jīng)?？捎^察到反向渦動被激發(fā)出來。因此，在轉(zhuǎn)子工作于整個轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)時，均應(yīng)為彎曲模態(tài)振動提供足夠阻尼，避免一階彎曲正向或反向渦動被激發(fā)。事實(shí)上，如果電磁軸承振動控制不考慮彎曲模態(tài)的阻尼,轉(zhuǎn)子靜態(tài)懸浮時就會把轉(zhuǎn)子彎曲振動激發(fā)出來。

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TURBOVAC 361及361C 分子泵有以下四種配置（進(jìn)/出氣口法蘭形式）：100 ISO-K/25 KF；100 CF/25 KF;160 ISO-K/25 KF；160 CF/25 KF;本模型組合包括以上2種接口模型。 TURBOVAC 361及361C型號名稱中有字母“C”的TURBOVAC泵配有吹掃氣裝置。廣州潽拓光電——LeyboldTW70渦輪分子泵維修質(zhì)譜儀分子泵維修我司將提供LeyboldTW70渦輪分子泵維修質(zhì)譜儀分子泵維修的詳細(xì)產(chǎn)品價格、產(chǎn)品圖片等產(chǎn)品介紹信息，有需要者歡迎來電洽談，期待我們的合作。吹掃氣的作用是保護(hù)TURBOVAC的軸承區(qū)域和電機(jī)。該型號產(chǎn)品技術(shù)特點(diǎn)：- 占地面積??；- 任意方向安裝；- 分子泵由于無油，可以提供潔凈的高真空和超高真空條件；- 通過TURBO.DRIVE TD 20Classic測量軸承溫度。- 節(jié)省空間；- 易于集成到復(fù)雜的真空系統(tǒng)；- 運(yùn)行成本低；- 耐粉塵。