濕式精密五金蝕刻進(jìn)程可分為三個(gè)過程：1) 化學(xué)精密五金蝕刻液分散至待精密五金蝕刻資料之外表;2) 精密五金蝕刻液與待精密五金蝕刻資料發(fā)作化學(xué)反響; 3) 反響后之產(chǎn)品從精密五金蝕刻資料之外表分散至溶液中，并隨溶液排出。除了溶液的選用外，挑選適用的屏蔽物質(zhì)亦是十分重要的，它必須與待精密五金蝕刻資料外表有很好的附著性、并能接受精密五金蝕刻溶液的腐蝕且安穩(wěn)而不蛻變。


而光阻通常是一個(gè)很好的屏蔽資料，且由于其圖案轉(zhuǎn)印過程簡(jiǎn)單，因而常被運(yùn)用。但運(yùn)用光阻作為屏蔽資料時(shí)也會(huì)發(fā)作邊際剝離或龜裂的景象。邊際剝離乃由于精密五金蝕刻溶液的腐蝕，形成光阻與基材間的黏著性變差所造成的。處理的辦法則可運(yùn)用黏著促進(jìn)劑來添加光阻與基材間的黏著性，一般來說，當(dāng)溶液濃度添加時(shí)，精密五金蝕刻速率將會(huì)進(jìn)步。而進(jìn)步溶液溫度可加快化學(xué)反響速率，進(jìn)而加快精密五金蝕刻速率。

影響精密五金蝕刻的要素許多，下面概述幾點(diǎn)：

1)蝕刻方式：浸泡和鼓泡式蝕刻會(huì)構(gòu)成較大的精密五金蝕刻，潑濺和噴淋式蝕刻精密五金蝕刻較小，尤以噴淋蝕刻效果好。

2)蝕刻液的種類：不一樣的蝕刻液化學(xué)組分不一樣，其蝕刻速率就不一樣，蝕刻系數(shù)也不一樣。例如：酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)通常為3，堿性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)可抵達(dá)4。近期的研討標(biāo)明，以肖酸為根底的蝕刻系統(tǒng)能夠做到幾乎沒有精密五金蝕刻，抵達(dá)蝕刻的線條側(cè)壁靠近垂直。這種蝕刻系統(tǒng)正有待于開發(fā)。