微孔加工。但是，電火花加工的速度極低，加工的成本比較高，用于加工小孔的電極銅工的電子束功率密度高，可加工高硬度、高強度、高韌性、高脆性、高熔點的金屬材料和非金屬材料，加工使用的功率密度大約為109W/cm2，能量可集聚成φ1μm以下的光斑，故可加工數(shù)微米的孔，孔的加工效率很高，這主要取決于被加工件的移動速度。能實現(xiàn)通過磁場或電場對電子束的強度、位置進行直接控制，便于實行自動化加工，主要用于園孔加工，也可用于加工異形孔、錐孔、窄縫等。該種工藝方法屬于非接觸加工，因此工件本身不受機械力作用，不產(chǎn)生宏觀應(yīng)力和變形。在真空狀態(tài)下進行，特別適合于加工易氧化的材料或純度要求高的單晶體、半導(dǎo)體等材料。

微孔加工的測量方法有哪些？

對于孔深小于1mm的通孔，可以借助放大鏡比較粗略地觀察該孔內(nèi)壁的粗糙度。本研究采用反射式顯微鏡直接觀察孔口內(nèi)表面情況，作為實測粗糙度試驗的對照。對于孔深達(dá)4mm的微小孔內(nèi)壁粗糙度，顯然無法用此方法準(zhǔn)確測量。由于所測量的微小孔孔徑較小，可控光源無法準(zhǔn)確地深入孔內(nèi)，故無法用光干涉原理的方法測量。若采用直接接觸式測量方法，雖然探頭直徑比微小孔內(nèi)徑小，但與其連接的后續(xù)部分太大，使得探頭無法深入微小孔內(nèi)部進行直接測量。因此，筆者對微小孔采用剖分法，并用錐度為60°的輪廓儀對剖分后外露的微小孔內(nèi)表面進行直接測量，以取得準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。

三、加工現(xiàn)狀。在加工過程中，存在以下問題，造成零件的合格率低，產(chǎn)品不能按期交付。

因加工刀具、切削參數(shù)、切削應(yīng)力的影響，零件易于變形，微孔加工系尺寸不能滿足工藝鍍前尺寸的要求。

φ4.5H7孔的孔壁厚度＜1mm，加工過程因零件的變形，局部出現(xiàn)孔壁穿透現(xiàn)象。

精密小孔孔底根部要求R0.2mm，需通過修磨刀尖R保證，因手工修磨的刀尖R不規(guī)則，造成零件不合格。