DWS型電容測微儀是電容不接觸式通用性精密測量儀器，它既是測振儀，又是測微儀，既能測量動態(tài)位移，又能測量靜態(tài)位移，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦，無磨損和無惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)，在科學(xué)院、工程院、航天、航空、高等院校、研究所、工廠得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不可缺少的測試儀器。制造業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)的支柱產(chǎn)業(yè)，隨著制造業(yè)的快速發(fā)展，尤其是先進(jìn)制造技術(shù)的出現(xiàn)，新工藝、新加工方法不斷涌現(xiàn)。儀器遠(yuǎn)銷國內(nèi)外，收到國內(nèi)外用戶的一致好評。

精密和超精密加工技術(shù)簡介

就先進(jìn)制造技術(shù)的技術(shù)實(shí)質(zhì)性而論，主要有精密和超精密加工技術(shù)與制造自動化兩大領(lǐng)域。前者包括了精密加工、超精密加工、微細(xì)加工，以及廣為流傳的納米加工，它追求加工上的精度和表面質(zhì)量的極限，可統(tǒng)稱為精密工程；后者包括了設(shè)計、制造和管理的自動化，它不僅是快速響應(yīng)市場需求、提高生產(chǎn)率、改善勞動條件的重要手段，而且是提高產(chǎn)品質(zhì)量的有效方式。表面粗糙度可用電感式、壓電晶體式表面形貌儀等進(jìn)行接觸測量，或用光纖法、電容法、超聲微波法和隧道顯微鏡法進(jìn)行非接觸測量。兩者密切聯(lián)系，許多精密和超精密加工要靠自動化技術(shù)才能達(dá)到預(yù)期目標(biāo)，而不少制造自動化則有賴于精密加工才能達(dá)到設(shè)計要求。

電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機(jī)箱與傳感模塊組成，可組成多測量通道數(shù)。

模塊化設(shè)計、自由組拼、高分辨率、模擬輸出、非接觸式測量。

它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標(biāo)形成的兩個電極，采用保護(hù)環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。

1981年美國IBM公司研制成功的掃描隧道顯微鏡(STM)，將人們帶到了微觀世界。精密加工和超精密加工是先進(jìn)制造技術(shù)的重要支柱，也是提高制造技術(shù)水平的關(guān)鍵。STM具有極高的空間分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分別達(dá)到0.1?nm和0.01?nm，即可分辨出單個原子)，廣泛應(yīng)用于表面科學(xué)、材料科學(xué)和生命科學(xué)等研究領(lǐng)域，在一定程度上推動了納米技術(shù)的產(chǎn)生和發(fā)展。與此同時，基于STM相似原理與結(jié)構(gòu)，相繼產(chǎn)生了一系列利用探針與樣品的不同相互作用來探測表面或界面在納米尺度上表現(xiàn)出來性質(zhì)的掃描探針顯微鏡(SPM)，用來獲取通過STM無法獲取的有關(guān)表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的各種信息。